爱发科（ULVAC）上市了单机可评测6种特性的串联薄膜硅太阳能电池用评测装置“MPEC-1300”。与评测不同的特性需要使用不同的装置时相比，装置成本及应用成本均减少了1/2左右。支持尺寸为1100mm×1400mm的底板。MPEC-1300的价格方面，配备所有测量功能时为1亿5000万日元。预计第一年度销售10台。该公司在太阳能电池展会“PVJapan2009”上展板展示了该装置。
MPEC-1300可评测串联结构薄膜硅太阳能电池制造工序所需的如下特性。（1）评测电极用金属薄膜膜厚及面内分布的“触针式表面形状测量”；（2）评测电极用金属薄膜电阻率分布的“低电阻率测量”；（3）获得微结晶硅薄膜的结晶化率，绘制面内分布的“Raman光谱测量”；（4）三维评测激光划片后及TCO膜表面的形状的“三维测量”；（5）评测非晶硅薄膜光学常数的“光谱椭偏仪”；（6）评测非晶硅薄膜抵抗率分布的“高抵抗率测量”。
MPEC-1300并非嵌入生产线中在线使用，而是单独设置，然后根据需求将底板搬到检测设备处进行测量。在这种情况下，如果评测装置支持的底板尺寸较小，就会进行破坏性检测。而MPEC-1300仍可测量尺寸为1100mm×1400mm的底板。今后为了不断提高薄膜太阳能电池的质量及性能，检测工序将越来越重要。（特约撰稿人：北原 洋明）
串联结构薄膜硅太阳能电池用评测装置“MPEC-1300”
可评测制造工序所需的6种特性
