(二)单晶炉配件之石英坩埚的选购

来源:solar168发布时间:2007-06-12 22:49:54

    其次是纯度控制,虽说国产坩埚也都采用了进口的原料,但在坩埚生产过程中各种因素的杂质沾污,导致最终坩埚成品的纯度大打折扣。国产坩埚一般都缺少测试手段,原料纯度由供应商保证,坩埚的纯度只能靠工艺保证。由于缺乏测试手段,任何一个环节的差错都可能是灾难性的,这也是单晶厂家对使用国产坩埚缺乏信心的原因。

    在质量控制方面,国外大公司有更严格的质量体系保证,人员受到严格的培训,生产过程受严格的监控,原料、坩埚成品有严格的测试,保证了产品的一致性和稳定性。国内的石英坩埚厂家尽管也通过了IS09000质量体系认证,但在严格的质量管理方面还欠火候,没有作业指导书或操作规程,产品缺乏一致性。虽说坩埚的几何尺寸也在规格范围内,但离散性大,有时偏上限,有时偏下限。此外在石英坩埚的清洗和纯化,石英坩埚的包装材料上,坩埚厂家也有许多有待改进的地方。随着集成电路制造业向中国转移,带动了硅片的需求强劲上升,同时也为石英坩埚生产厂家带来了巨大商机。打破进口坩埚在大规模集成电路级的,垄断,需要单晶生产厂和石英坩埚厂家的共同努力。对石英坩埚生产厂家来说,加强管理、提升品质,显得更为重要,产品本身不好即使进入市场最终还会被挤出来。不能论单价,更重要的是性价比,要能给用户带来实惠。相信国内的石英坩埚企业在不远的将来会赶上和超过国际先进水平。

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