LPCVD

水平。公司在PVD、CVD(PECVD、LPCVD等)和ALD原子层沉积等真空镀膜设备上拥有先进技术和高端装备制造经验。早在2019年11月份，捷造光电就曾宣布公司异质结电池效率达到25.11%。捷造

，总资产为2.57亿元;2023年1-5月，普乐新能源实现营业收入685.77万元，实现净利润-918.72万元，总资产为3.14亿元。奥特维表示，普乐新能源具备LPCVD的设计和工艺能力，公司通过与

TOPCon的核心工序，工艺路线大致分为LPCVD本征+磷扩、PECVD原位掺杂、PVD原位掺杂等。异质结电池生产流程包括材料选择、基片准备、硅片切割、链式清洗、链式吸杂、清洗制绒、PEVCD镀膜

、磷扩散、氧化及退火设备等；镀膜设备主要包括LPCVD和PECVD设备等；自动化设备为可以有效提升工艺设备生产效率的配套上下料设备。2020-2022年，拉普拉斯实现营业收入4072万元、1.04亿元
设备规模化量产和应用，突破N型电池片量产工艺瓶颈。②率先实现光伏级大产能LPCVD大规模量产，可高质量满足高效光伏电池片隧穿氧化及掺杂多晶硅层制备的工艺需求。③自研水平放片工艺，有效提升产能，满足

机等高端装备，深度服务国内80%的光伏企业，拳头产品PECVD设备市占率行业第一。抢抓行业发展趋势，围绕TOPCon电池领域，中国电科自主研制了LPCVD、硼扩散、PEOCVD设备、石墨舟/石英舟