LPCVD
式PECVD、管式LPCVD、管式PEALD、管式ALD、管式Diff/Oxide/Anneal。板式设备：板式PECVD、板式Cat-CVD、板式RPD、板式PVD、板式PAR、板式ME。(PPT
持续聚焦高效光伏电池片高性能热制程和镀膜等关键核心工艺设备，其中热制程设备主要包括硼扩散、磷扩散、氧化及退火设备等，镀膜设备主要包括LPCVD和PECVD设备等。此外，拉普拉斯还拥有包括氧化、退火
实现更细的栅线宽度，同时增加正背面栅线根数，减小栅线间距，有效降低了银浆单耗。针对石英舟的消耗，公司在电池生产中采用LPCVD路线，全面导入LP双插工艺，通过技术创新，降低了运维和石英器件的成本，带来
提高了扩散工艺、氧化退火工艺、LPCVD工艺、PECVD工艺的产品质量，同时也提高了制造效率。这无疑将为光伏产业的高效发展提供强有力的保障。“光伏装备技术创新大会”由国家光伏装备工程技术研究中心和
(LPCVD)三大产品系列，向与会来宾呈现了低压硼/磷扩散、低压力化学气相沉积(LPCVD)、正膜/背膜等离子体增强化学气相沉积(PECVD)，以及等离子体增强化学气相沉积法制作多晶硅层(PE-POLY
书记还关切了公司详细的创新细节。欧文凯介绍到：目前普乐科技采用的是先进的低压化学气相沉积(LPCVD)和硼扩散等设备，并叠加了定制的激光SE设备。自研SolarCell-OS系统生产设备管理平台，与
of LPCVD-deposited thin intrinsic silicon films on the performance of boron-doped polycrystalline
效晶硅电池生产技术研发上先后取得一定进展。”技术弹簧转为势能通威从来不打没有准备的仗!在TOPCon技术还没有大规模开始量产前就有1GW TOPCon中试线，并在此基础上不断论证LPCVD
13GW N型高效太阳能电池，主要生产线有制绒生产线16条、硼扩66条、SE线32条、丝网印刷24条等生产线，主要设备有制绒、扩散、LPCVD、丝网印刷等太阳能电池所需生产设备、检测仪表等900余台(套
年，一道新能就率先建成了国内第一条基于LPCVD多晶硅工艺的年产1.2GW高效TOPCon1.0电池片生产线，填补了国内空白，此时电池效率就已经达到22.3%。随后一道新能陆续研发出TOPCon
