铸锭工艺

。太阳能电池制造大部分工序使用的制造装置都实现了中国境内采购（注8）。但全自动丝网印刷机和平板式PECVD装置仍依赖进口。 　　除太阳能电池的制造设备外，上游的多晶硅铸锭炉和下游的检测器也能在国内采购到
。在9月的常州展会上，最受关注的是浙江精工科技（注9）展出的多晶硅铸锭炉“JJL500”（注10）。这是全球首台能够制造500Kg多晶铸锭的设备。目前已经接受了多家客户的预定，供货将于2008年12月

扩散炉、等离子刻蚀机、单晶炉、多晶铸锭炉等开始少量出口，可提供10种太阳能电池大生产线设备中的8种，其中有6种(扩散炉、等离子刻蚀机、清洗/制绒机、石英管清洗机、低温烘干炉)已在国内生产线上占据
广泛应用。硅材料加工设备中单晶炉以优良的性价比占据了国内市场的绝对统治地位并批量出口亚洲，多线切割机已取得突破，多晶硅铸锭炉已经开始大量在国内企业中使用。尽管国产设备已经在光伏生产线上获得很好的口碑

新能源产业发展和产业结构调整起到重要作用。 据悉，该项目由隆基泰和实业集团投资建设，总投资42亿元，将形成铸锭、硅片、电池和组件完整产业链的600兆瓦多晶硅太阳能电池生产基地，规划有车间、办公室楼等
配套设施，项目占地1000亩，预计可为社会提供5000多个就业岗位。 该项目将由美国纽交所上市企业(股票代码YGE)、国内光伏太阳能领域领军企业——保定英利集团负责托管2年，英利集团将提供光伏生产工艺

和钣金加工两个辅助加工中心，带着新开的课题《太阳能电池多晶硅片制造关键设备（铸锭炉）及工艺技术》，开始向太阳能产业迈进。但是，由于这一探索无前路可循，太阳能产业又是高投入、高风险的产业，二所前期投入的
数百万研发资金很快消耗殆尽。直到2006年后半年，困境中的研发团队曙光再现，《太阳能电池多晶硅片制造关键设备（铸锭炉）及工艺技术》分别得到国家863科技计划项目、国家电子发展基金资助和省科技创新计划

硅材料及设备制造、加工、涉及单(多)晶生长设备制造，单晶硅生长及后续晶片加工的主要工艺流程，是我国真空设备晶体生长炉特别是软轴硅单晶炉、多晶铸锭炉、区熔炉、多晶硅材料生产一体化的专业生产厂家。公司经过
今年7月30日，京运通研发成功新一代JZ-660多晶硅铸锭炉并投入量产。该产品装料量达600余公斤，在全世界居于领先地位，将为光伏产业提高生产效率、降低成本作出贡献。 同时，赛维

用的工艺是铸锭法。在这个过程中，多晶硅放入石英坩埚中，经过加热、融化、长晶、退火和冷却，完成一个多晶晶锭的生长过程。把单晶硅棒或多晶晶碇切割成硅片，目前基本上采用的是多线切割技术。将硅棒或硅锭经表面
。目前国际上生产高纯度多晶硅料的生产工艺85%以上采用改良西门子法。它是利用氯气和氢气合成HCl，HCl和工业硅粉在一定的温度下合成SiHCl3，然后对SiHCl3进行分离精馏提纯，提纯后的SiHCl3在

硅材料生产、硅片加工到太阳能电池芯片的生产以及相应的纯水制备、环保处理、净化工程的建设，已经初步具备成套供应能力，部分产品如扩散炉、等离子刻蚀机、单晶炉、多晶铸锭炉等开始少量出口，可提供10种太阳能电池
机已取得突破，多晶硅铸锭炉已经开始大量在国内企业中使用。 据中国电子专用设备工业协会统计的数据，今年随着一批新的国产光伏设备批量进入市场，以及国产设备性价比的不断提高，光伏企业对国产设备的认知度

进口设备。而中电48所，作为多年研发半导体集成电路关键工艺装备和电子工业窑炉等高温装备的电子装备研究所，早在2001年就开始研发太阳能光伏产业所需关键工艺装备。 这是一次愉快之旅。在中电
48所，施正荣欣喜地发现，作为太阳能电池生产的关键工艺装备之一的扩散炉，中电48所的产品性能指标一点都不比国外差，而价格仅为国外产品的1/3。从此，他成了中电48所扩散炉的忠诚用户。而与无锡尚德的联姻

产业链上下游的企业有时间规划下一步的发展。 光伏产业链日趋完整太阳能市场依旧向好 我国光伏产业链已经日趋完整，已经形成多晶硅材料、铸锭、电池片、平衡部件等光伏应用产品和
要求。其发展的目标总的来讲，一是不断物化新的电池制造工艺技术，从而提高单体电池的光电转换效率和产品的内在质量；二是提高自动化水平和单机生产效率，使整线生产效率进一步提高，降低生产成本；三是降低化学

成立，专注于太阳能多晶硅铸锭及多晶硅片研发、生产、销售。2006年4月，第一块赛维LDK太阳能多晶硅片出炉。5月生产出两块亚洲最大(各275公斤)的多晶硅铸锭。6月，赛维LDK成功切割成200微米厚度
丰富元素，矿藏丰富且易于开采。硅基太阳能电池是目前技术最成熟，应用最广泛的太阳能光伏产品，2007年占全球太阳能电池产量份额为88.34%。 硅基太阳能电池分为单晶硅、多晶硅两种。单晶硅技术工艺