钝化设备
TOPCon电池以N型硅片作为基底，利用钝化接触技术在电池背面制备超薄的可隧穿氧化层和高掺杂的多晶硅薄层，形成正背面沉积SiNx膜。N型TOPCon电池双面率可达80%以上，弱光响应好，转换效率高，可由现有
PERC产线升级，设备投资额低，具有量产竞争性。
正泰新能源N型组件效率高达21.6%。组件使用N型双面电池，结合多主栅+半片设计，提高间距密度，结合无损切割和高密度封装技术保证产品良率，提升
事件：
11月10日上午，中国科学院发布，由其宁波材料技术与工程研究所硅基太阳能及宽禁带半导体团队开发的新型高效隧穿氧化硅钝化接触(TOPCon)概念验证电池经福建计量科学研究院国家光伏产业计量
下降，并在设备可维护性等方面满足量产需求。
合作进展：
金辰管式PECVD装备将其应用于TOPCon。目前，金辰管式PECVD装备在多家光伏龙头公司已通过中试验证，量产n型TOPCon电池平均效率
/cm2，FF=84.64%)的新型高效隧穿氧化硅钝化接触(TOPCon)概念验证电池，突破了晶科能源和中来股份2021年10月份分别发布的25.4%的国内效率纪录，居行业先进水平，见图1和图2
。
值得一提的是，该电池采用了基于等离子体增强化学气相沉积(PECVD)技术制备的新型多晶硅化物薄膜，可显著增强表面钝化、降低中长波段寄生吸收，同时兼顾载流子选择性收集，能够全面提升填充因子、短路电流及开路
2021年是N型技术飞速发展的一年，也是行业内光伏电池、组件龙头企业、新老玩家纷纷开始布局和扩张N型TOPCon电池产线的一年，随着设备、材料国产化和工艺成熟度的提升，TOPCon展现出了成为下一代
进行技术升级。我们发现接触区域和金属化的存在是造成PERT技术电池效率损失率的主要原因，而TOPCon在学术界最著名的就是钝化接触技术，能够解决我们的问题，这就是我们的技术从PERT升级到TOPCon
升压至热停堆工况，并在各特定试验平台执行一系列调试试验、运行定期试验的综合性试验阶段。该阶段尽可能地模拟核电厂各类热工工况，验证核岛、常规岛设备和系统在热态运行时的可靠性、相关参数是否满足设计要求
。
K-3机组热试工作自一回路升温升压开始共历时41天，较原计划提前完成。期间主要完成了主系统钝化、主辅系统功能试验、重要专设系统功能试验、失电试验和汽机非核冲转试验等，全方位验证了K-3机组重要系统
技术路线，产品良率则与PERC接近。 一位拥有数十年行业经验的技术专家明确表示：从目前光伏电池设备供应链、以及从钝化原理可能达到的最高电池效率来看，接触钝化(TOPCon)电池技术是最适合光伏产业
这个技术?
1、TOPCon技术的前世今生
Topcon技术的核心就在于钝化接触，Topcon的后半部分，就是钝化接触Passivating Contact的英文缩写。提高电池效率的其中
al., Appl. Phys. Rev. 7, 021305 (2020).
PERC的钝化接触可以近似的看成是TOPCon的不完全体。相较于曾经的全铝背场电池(电池背面除了银电极
逐步逼近其实际可达的极限约为28.5%。 而晶硅太阳能电池逼近效率极限的主要有低阻、高质量硅片;薄硅片;高质量钝化(含接触)。为此，高平奇先生在进行了晶体硅免掺杂异质结电池的研究，并在实验设备不及
25.4%，批量产线效率超过 24%，即使这样距极限效率仍有一定差距，效率提升的空间还很大;
2) 从工艺角度看，TOPCon与HJT实现功率提升的方式都是通过钝化，不过前者通过隧穿氧化层，HJT通过
沉积非晶硅薄膜方式。TOPCon 需要在 PERC 产线上增加扩散、 刻蚀及沉积设备改造，成本增加幅度小;而 HJT 电池工艺最简单、步骤最少(核 心工艺 4到7 步)，但基本全部替换掉 PERC
大;
2)从工艺角度看，TOPCon与HJT实现功率提升的方式都是通过钝化，不过前者通过隧穿氧化层，HJT通过沉积非晶硅薄膜方式。TOPCon需要在PERC产线上增加扩散、刻蚀及沉积设备改造，成本增加
幅度小;而HJT电池工艺最简单、步骤最少(核心工艺4到7步)，但基本全部替换掉PERC产线，
3)从成本角度看，工艺的不同带来的直接结果就是2.4~4亿元/GW的设备成本提升。银浆消耗量的差距，基于
