背表面钝化技术

背面场(Al-BSF)到钝化发射机和背电池(PERC)技术，因为后者能与用于标准技术的现有生产线兼容。不过，依靠氢化非晶硅(a-Si:H)实现优异的晶体硅(c-Si)表面钝化性将使得将硅薄膜生产线

更好的钝化效果。 2) 制备非晶硅薄膜：硅片在PECVD设备中制做钝化膜和PN结。HIT的高效率根源于本征非晶硅薄膜优良的钝化效果。晶硅表面存在大量的悬挂键，光照激发的少数载流子到达表面后

具有较高的负电荷密度(10-12/cm2)，形成了良好的场钝化效果。在高温高湿环境下，玻璃中会析出Na+。在正电压作用下，电池片呈高电势，边框呈低电势， Na+会流出电池片，不会在电池片表面富集。在负电
压下，电池片呈低电势，边框呈高电势，Na+会穿过封装材料到达电池片表面。背面阳离子的富集，形成额外的复合中心，如图1所示;AlOx钝化膜中电荷进行重新分布，导致场钝化效果的降低。正面和背面的EQE(图2

TOPCon，如果是在背表面被烧穿问题还不算大，最多钝化效果被破坏了一点，影响转换效率，但如果未来做双面TOPCon，正表面被烧穿的话引起PN结短路，整个电池就会失效;三是同质结掺硼的难度较大，未来

，P5高效多晶电池采用了157mmx157mm P5多晶硅片，并整合了选择性发射极、氧化硅钝化、叠层减反射、氧化铝背钝化、先进金属化等多项电池技术。其中湿法黑硅陷光技术具有阿特斯自主知识产权，在大幅

电池量产发挥出重大作用。在目前主流量产技术的PERC电池上，微导推出的全新单面钝化镀膜技术结合臭氧新工艺方案，可以将量产效率提高0.1%，背膜产能提升20%，单机产能提升近一倍，超过10000片/小时

，PERC 电池是当下最佳选择 目前光伏行业先进技术包括：湿法黑硅(MCCE)技术、背面钝化(PERC)技术、异质结太阳能电池(HIT)、金属穿透(MWT)技术、全背电极接触晶硅光伏电池(IBC)技术

回去。 PERC电池采用PERC技术需在常规背电场(BSF)技术基础上增加背面钝化解决方案。在具体实施中，需要沉积一层背面钝化膜，然后在这层膜上开槽实现背面接触。通过在电池背部附上介质钝化层，可减少光电

，PERC 电池是当下最佳选择 目前光伏行业先进技术包括：湿法黑硅(MCCE)技术、背面钝化(PERC)技术、异质结太阳能电池(HIT)、金属穿透(MWT)技术、全背电极接触晶硅光伏电池(IBC

光伏市场，而PERC电池的推广和金刚线切片技术的应用使单晶市场占比不断扩大。PERC电池采用Al2O3膜对背表面进行钝化，可以有效的降低背表面复合，提高开路电压(VOC)，增加背表面反射，提高短路电流