硅片清洗设备

、低能耗、全自动单晶炉，吨级多晶硅铸锭炉，大尺寸、超薄硅片多线切割机，硅片自动分选机等关键生产设备。支持多槽制绒清洗设备、全自动平板式等离子体增强化学汽相沉积（PECVD）、激光刻蚀机、干法刻蚀机

；在太原建设了300兆瓦硅片加工项目；在甘肃平凉建成了500兆瓦太阳光伏电池产业化项目等等。凭借自己的设备，中国电科创造出一个个光伏产业的奇迹：2011年，中国电科太阳能光伏综合产能达到2000兆瓦
上光伏装备最主要的供应商和整线生产工艺培训及服务企业之一。工艺是装备的灵魂，好装备还要有配套的好工艺。在光伏电池生产线上，禹庆荣为记者一一介绍了各种光伏电池生产工艺，比如清洗制绒、扩散制结、刻蚀、烘干烧结等工艺

中小企业为挽救自身不得不病急乱投医，而未来的3-5年才是真正的行业大清洗时期。事实上，2011年底，国内第三大硅片厂商昱辉阳光就对外宣布，将牵头对浙江省开化县60家中小光伏企业进行整合，形成一个新的
。 下一页 但对于巨皇光电仅发力于眼前的应景之举，上述企业高管则指出，由于各整合主体在设备、技术、资金等方面良莠不齐，在对前景规划

中，记者看到了员工们忙忙碌碌的身影。有的员工在操作设备切割单晶硅棒，有的员工在更换新砂浆，有的员工把脱好胶的硅片插入栏内待清洗，有的员工在时刻监测设备的运行情况。员工小徐告诉记者：现在我们员工、设备

、单晶槽式清洗/制绒机等设备已经接近或达到国际先进水平，基本可以满足行业的需要，可替代进口设备，目前市场占有率也相对较高。 　　扩散炉和PECVD，目前大量应用的国产设备都是管式的，由于可以满足

来看，国产单晶硅生长炉、多晶硅铸锭炉、线切方机、单晶槽式清洗/制绒机等设备已经接近或达到国际先进水平，基本可以满足行业的需要，可替代进口设备，目前市场占有率也相对较高。扩散炉和PECVD，目前大量应用的

、单晶槽式清洗/制绒机等设备已经接近或达到国际先进水平，基本可以满足行业的需要，可替代进口设备，目前市场占有率也相对较高。扩散炉和PECVD，目前大量应用的国产设备都是管式的，由于可以满足生产工艺的要求

90/65nm 立式氧化炉/质量流量控制器研发及产业化项目"、"65nm超精细清洗设备研制与产业化项目"、"45-32nm LPCVD设备产业化项目"。通过承担国家科技重大专项，一方面是公司行业地位

工艺"专项（即"02专项"）中的"300mm90/65nm立式氧化炉/质量流量控制器研发及产业化项目"、"65nm超精细清洗设备研制与产业化项目"、"45-32nmLPCVD设备产业化项目"。通过承担

）： A、 光伏生产设备：硅棒硅块硅锭生产设备：全套生产线、铸锭炉、坩埚、生长炉、其他相关设备硅片晶圆生产设备： 全套生产线、切割设备、清洗设备、检测设备、其他相关设备电池生产设备： 全套生产线