激光硅沉积

机，硅片自动分选机等关键生产设备。支持多槽制绒清洗设备、全自动平板式等离子体增强化学汽相沉积（PECVD）、激光刻蚀机、干法刻蚀机、离子注入机、全自动印刷机、快速烧结炉等晶硅太阳能电池片生产线设备和

约200个通孔。MWT电池的制作流程大致为：硅片-激光打孔-清洗制绒-发射极扩散-去PSG-沉积SIN-印刷正面电极-印刷背面电极-印刷背电场-烧结-激光隔绝-测试。(作者：和海一样的新能源)

机械工程系的研究人员称，这一途径的秘密在于蚀刻在硅表面的微型倒金字塔图案。他们使用了两束重叠的激光束，以便在沉积于硅之上的光刻胶的表面生成特别的微小刻痕。经过几个中间步骤后，氢氧化钾可溶解未被光刻胶覆盖的

的微型倒金字塔图案。他们使用了两束重叠的激光束，以便在沉积于硅之上的光刻胶的表面生成特别的微小刻痕。经过几个中间步骤后，氢氧化钾可溶解未被光刻胶覆盖的表面部分，从而在材料表面产生希望获得的金字塔图案

通过PECVD沉积双层SiNx薄膜,以起到减反射和表面钝化作用。电池背面利用局部激光烧蚀技术,烧蚀成高低不同、呈叉指状交叉排列的两片区域。这种台阶结构成为RISE电池最大的结构特点。背面经磷扩散后
接触区沉积一层铝膜形成铝背场。需要特别注意的是背面电极通常采用机械或激光刻槽的方法来隔绝基区电极和发射区电极。电极的制作分两种:一种是采用埋栅接触及化学镀的方法,效率可达到17.5%(Cz2Si)和

。在发射结磷扩散后，10nm厚的Al层沉积在电他背面，再热生长10nm表面钝化氧化层，并使背面Al和硅形成合金，正面氧化层可大大降低表面复合速度，背面Al合金可吸除体内杂质和缺陷，因此开路电压得到提高
41角进入硅片，使光生载流子更接近发射结，提高了收集效率，对低寿命衬底尤为重要；V型槽可使发射极横向电阻降低3倍。由于PESC电他的最佳发射极方块电阻在150／口以上，降低发射极电阻可提高电池填充因子

，然后烧结可以使N型层返回到P型。去周边用激光切割的方法或等离子体刻蚀法。激光切割可以在太阳电池电极印刷和烧结结束后进行。激光切割去周边时必须把激光束照在背电极上，而且不能让激光把硅片击穿，必须控制好激光

主要有很多的技术可以选择，达到19的效率可以有很多的选择，你怎么把传统的工艺做一些优化，比如离子注入等，我们认为19到20之间可能这个技术是一个主要可以量产的技术，我们采取的技术方案还是用P型硅片，是
钝化镀膜的工艺。另外还有一个比较重要的问题，你怎么样去做背面的接触，金属接触采取什么样的方案，不同的方案带来不同的成本，常规上面大家认为激光开孔是比较多的采取的方案，还有成本比较低的方案也在研究过程中

效率。 CypoSol 提升金属化效果和效率 CypoSol系列银铝墨水和浆料主要用于太阳能硅片的金属化，以确保电池效率最大化。除传统丝网印刷用CypoSol S 浆料外，本系列产品中还包括专为激光
期三天的展会上，巴斯夫将展示帮助光伏行业客户提高太阳能转化效率，进而提高这种清洁替代能源长期经济性的一系列化学解决方案。 参展亮点 先进热电偶提高产量 用于在太阳能电池生产过程中控制沉积和掺杂的

叠层组件，这种结构的非晶硅薄膜太阳能电池也被称为层叠电池，如图2所示。非晶硅薄膜太阳能电池生产的主要工艺流程：生产非晶硅薄膜太阳能电池的主要设备和工艺流程如图3所示。其中pin膜的沉积是利用PECVD