激光硅沉积

周崇武教授的小组合作，围绕一维纳米结构的组装、光电器件的设计等科学问题，开展了一维纳米结构的制备、器件制造工艺等探索研究，取得了一系列研究进展。该课题组通过采用改进的激光烧蚀辅助化学气相沉积法，在镀金
的硅片上生长了螺旋状的In2O3纳米线。研究发现所得到的纳米线是由多节的纳米线连接卷曲而成的。由于立方相In2O3中存在+（001）和-(001)的极性面，因此由于极性面的诱导造成纳米线的卷曲而生

之本，只有通过对硅基薄膜电池生产技术的持续改进才能不断提高产品竞争力。一是通过非晶/微晶叠层或多结结构，提高产品效率，降低光致衰减；二是提高沉积的速度和均匀性，通过大尺寸、大面积、高速率的沉积降低
晶体硅太阳电池则需2年～3年。第三，美观、大方，便于与建筑集成。当电池组件作屋面和墙面时，电池组件的颜色与建筑物的颜色比较容易匹配，美化室内外环境，加上精细、整齐的激光切割线，使建筑物更加美观、大方

、信号灯等采用光伏产品。 二、自主创新 （一）建立以企业为主体的技术创新体系。通过产学研结合，整合技术资源，围绕大直径单晶硅生长、硅薄膜沉积、背电极镀膜、激光划线、定向固化结晶、电池制绒和整线优化等

。 研究人员在一张硅单晶基板上做了一个有六角形小孔的模板，使薄层的非晶硅或镍矽化物在模板上沉积下来。然后，他们用很短的激光脉冲加热硅表面，熔化基板的表层。 熔化的硅然后在在单晶硅基板内重新结晶，会发

太阳能技术路线的计划： 新一代核心设备：等离子增强化学气相沉积（PECVD）设备、透明导电氧化物（TCO）和激光 更薄的电池结构，减少了退化和耗气量 10%的稳定组件效率（每组件143峰瓦） 基于简化
欧瑞康太阳能推出新生产线“ThinFab”，进度早于技术路线图计划 西班牙巴伦西亚--(美国商业资讯)--欧瑞康太阳能今天推出了新生产线“ThinFab”，用于生产薄膜硅组件。该生产线将实现每峰

利于后续沉积的背电极接触层及金属背电极与透明导电薄膜之间形成连续的具有良好欧姆特性的连接。 图5 CdTe薄膜激光刻划刻痕形貌 　　 2． 碲化镉薄膜的表面腐蚀技术 　　 刚沉积的碲化镉薄膜

，再进行激光划刻、沉积半导体层等工艺，最后再进行封装。与传统的晶体硅电池生产不同，这种工艺耗费材料少得多，沉积的半导体层比头发丝还薄。硅的使用因此可以比传统工艺减少99%，生产过程不过两个多小时，能耗也

。 简而言之，先有底层的玻璃板，接下来将底层的基板铺上，再进行激光划刻、沉积半导体层等工艺，最后再进行封装。与传统的晶体硅电池生产不同，这种工艺耗费材料少得多，沉积的半导体层比头发丝还薄。硅的使用因此

。 简而言之，先有底层的玻璃板，接下来将底层的基板铺上，再进行激光划刻、沉积半导体层等工艺，最后再进行封装。与传统的晶体硅电池生产不同，这种工艺耗费材料少得多，沉积的半导体层比头发丝还薄。硅的使用因此

生产线就超过1亿美元。江西赛维百世德负责人说：“公司设备大部分来自美国应用材料公司，其中用于沉积硅薄膜层的核心设备专用微晶反应室，其实就是一台300吨的铁，却要2000万美元，折算下来就是50万元一吨铁
近年来我国光伏产业迅猛发展。现在国内涉及太阳能的生产企业已达3000多家。其中，包括500多家光伏企业和研发单位，多晶硅材料企业近30多家，相关从业人员超过10万人，有境外上市光伏企业11