激光硅沉积

的加工要求。由于激光加工技术的高效率、无污染、高精度、热影响区小，因此在电子工业中得到广泛应用。 如在集成电路生产过程中采用的激光划片技术，可以达到提高硅片利用率高、成品率高和切割质量好的目的

美元）。在欧洲，光伏、国防、光学传感与系统、生产技术、自动测量与机器视觉、医疗技术以及照明这七大行业，都对欧洲整个光电市场的发展贡献着不小的力量；而且，欧洲的光伏、激光制造和照明这三大行业还处于世界领先
水平（见图1）。图1：2007年，欧洲光电市场的总产值为560亿欧元。其中，欧洲的光伏、激光制造和照明这三大行业，在世界上处于领先水平。光伏业 2008年，光伏行业经历了又一个繁荣增长。2008年

结构设计、分析检测需要大量专业人员外，化学气相沉积(CVD)、真空溅射、激光刻线等特殊工艺，以及包括多种特殊气体、高纯水、净化空调系统等的厂务支持系统，都需要大量有专业知识背景和实际操作经验的员工。而由
太阳能电池市场的20%以上，其中非晶硅薄膜太阳能电池仍为主流产品。 2008年8月，富士经济公布的太阳能电池全球市场调查结果显示，薄膜硅太阳能电池2007年市场规模为578亿日元。预计

： 铸锭炉、拉晶炉、材料成分检测器、硅棒硅料外观检测器、寿命分析器,、电阻检测器、硅料检测器、 线锯、激光锯、带状锯、硅片清洗设备、硅片超声波清洗设备、电阻检测器、寿命检测器、硅片检测

一直是薄膜太阳能电池发展的瓶颈之一。除电池本身的结构设计、分析检测需要大量专业人员外，化学气相沉积(CVD)、真空溅射、激光刻线等特殊工艺，以及包括多种特殊气体、高纯水、净化空调系统等的厂务支持系统
，有着广阔的应用空间。从2008年到2013年，薄膜太阳能电池市场平均年增长率高达67%，到2013年产量达到10GW，约占整体太阳能电池市场的20%以上，其中非晶硅薄膜太阳能电池仍为主

将对于海外设备厂分食中国设备商机，带来相当大的影响。 其实国内少数设备厂商商已拥有自制整条太阳能电池设备的能力，包括关键制程的化学气相沉积(PECVD)、激光画线机等，都已自行研发量产，并且供货给
中国推广太阳能产业如火如荼，提升国产设备也被视为提升产业竞争力的重点项目，不论在多晶硅或非晶硅薄膜太阳能电池设备上，其实国内设备的竞争力已不容小觑，再加上业界有志一同提升国产设备使用比重，未来

成为很有竞争力的选择，特别是低温浆料的应用，在组件技术和电池技术中能够减少一道工序，此举可以大幅提高组件输出功率，提高产能。 激光加工技术将在硅太阳能电池生产过程中得到广泛应用，如激光刻槽

新能源。为了适应太阳能电池产业的发展，满足日益增长的市场需求，抓住太阳能电池产业发展的历史机遇，本项目拟建整套100MW太阳能电池生产设备, 以单晶硅片为原料经表面处理、扩散、硅沉积、电极印刷、焊接等工序

至背面，使得上表面完全没有金属。通过钻微型通孔，将上表面与下表面接触连接起来，就可以实现这一点。利用WMT，每块硅片需要钻约200个通孔。而EWT要求每块硅片上有高达2万个这种通孔。激光钻孔是唯一可能

合作关系，使后者从战略投资人发展到技术和市场开发合作伙伴。 该联合开发协议将专注于开发先进的薄膜沉积工具，该工具采用NanoGram已获专利的激光反应沉积(LRD)硅处理技术。该平台将以快速