激光硅沉积

，其中以NanoGram的激光反应沉积（LRD）工艺为它的一个核心组成部分。美国能源部最近向NanoGram公司颁发了一项“能源创新者奖”作为对其光伏技术方式的认可。 OTB在帮助太阳能、电子和工业领域的
方面。 NanoGram公司将利用这一设施升级其获奖的太阳能电池模块SilFoil技术，这一技术将以与薄膜模块相比具有竞争力的价格提供基于晶圆的晶体硅模块的产品性能和可靠性。SilFoil技术由一整套专利工艺组成

装置和磁控管溅射器，都由HHV公司自行制造，而清洗装置、激光划片装置则计划由其他印度企业的OEM(原始设备制造商)提供。 为了弥补以往在薄膜硅太阳能电池领域的不足，HHV于2007年12月成立了薄膜硅

、激光划片装置则计划由其他印度企业的OEM(原始设备制造商)提供。 为了弥补以往在薄膜硅太阳能电池领域的不足，HHV于2007年12月成立了薄膜硅太阳能电池制造子公司，子公司将在HHV总部及工厂所在地班加罗尔建设太阳能电池工厂，投产日期预定为2008年9月。 (编辑:xiaoyao)

2008年6月16日： 由NanoGram Corporation公司为太阳能电池生产而开发的激光硅沉积（silicon-deposition）技术获得了美国能源部节能和再生能源办公室颁发的

重要途径。” NanoGram正在开发突破性的晶体硅基片太阳能模块制造工艺，它不仅可提供高的效率，而且可显著地将模块成本降低到薄膜光伏技术的水平。此项工艺利用NanoGram专有的激光
反应沉积（LRD(tm)）技术，与典型的硅基片方法相比，可将硅消耗量减少到25%以下而降低PV模块的成本。采用这一方法所产生的重大成本降低，在于2012达到大规模制造水平时，有望可将模块成本控制在大大低于

重要途径。” NanoGram正在开发突破性的晶体硅基片太阳能模块制造工艺，它不仅可提供高的效率，而且可显著地将模块成本降低到薄膜光伏技术的水平。此项工艺利用NanoGram专有的激光反应沉积（LRD

，正电极和背电极层 2. KAI1200为等离子体增强化学气相沉积(PECVD)，非晶和微晶硅光敏层 3. LSS 1200激光划线来制作串联电池。 (编辑:xiaoyao)
欧瑞康太阳能是一家领先的薄膜硅光伏解决方案供应商，现在正迅速地扩展其全球的业务。公司被公认为全自动化交钥匙解决方案的供应商，包括量测和从玻璃清洗到测试完成整个生产过程。包括设备、技术和服务在内

pin结构电池，窗口层为掺硼的P型非晶硅，接着沉积一层未掺杂的i层，再沉积一层掺磷的N型非晶硅，并镀电极。 非晶硅电池一般采用PECVD
(PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition―――等离子增强型化学气相沉积)方法使高纯硅烷等气体分解沉积而成的。此种制作工艺，可以在生产中连续在多个真空沉积室完成，以实现大批量生产。由于沉积分解温度低，可在玻璃、不锈钢板、陶瓷板

　　近日，应用材料公司建立了SunFab技术中心，该中心位于德国Alzenau，有超过400名员工，面积2000平米，装有的模块制造设备包括应用材料公司的PECVD和ATONTMPVD（物理气相沉积
）系统、激光设备以及工厂自动化软件等全系列能代表应用材料公司SunFabTM大规模太阳能面板制造薄膜生产线的设备。 　　SunFab技术中心为应用材料主要的太阳能研发中心，专注于提高模块的转换效率并

公司的PECVD（等离子加强化学气相沉积）和ATON PVD（物理气相沉积）系统、激光设备以及工厂自动化软件等全系列能代表应用材料公司SunFab大规模太阳能面板制造薄膜生产线的设备。SunFab
技术中心将成为应用材料公司主要的太阳能研发中心，专注于提高模块的转换效率并降低生产成本。此外，该中心将为客户提供关键系统和工艺的评估和测试，提高区域内现有的晶体硅和薄膜太阳能电池的制造能力。应用材料公司