基础上,可以继续碳化硅材料的深加工。碳化硅制做的耐火材料,有板、砖和冶炼容器等多种形式和规格。按结合材料可以分为二氧化硅结合的,粘土结合的,三氧化二铝结合的和氮化硅结合的。碳化硅是一种耐磨,耐腐蚀和
耐高温的材料,在非氧化气氛下,温度可达2200℃,在氧化条件下尚可达1600℃,可是由于结合材料的耐火度低,导致碳化硅制品的耐火度降低,如:氮化硅结合的碳化硅在1350℃即发生分解。所以自结合碳化硅,则可
前后由半导体氧化层或氮化硅层金属层所构成的电容值分别为CA 和C*A,则 CA=EiE0Ad C
CA C*A=EiE0AdEiE0A*d=AA* 其中,d为氮化硅的厚度。通过对制作绒面前后的电容比,可得出表面
。其它环节的差额部分需要进口,如电池片、硅锭∕硅片,配套材料等,如图5所示。 产业设备设计水平和制造能力落后。多晶硅铸造炉、线锯、破锭机完全需要进口;PECVD氮化硅沉积设备、丝网印刷机、电池片
。在晶体生长中受应力等影响造成缺陷越多的硅材料,氢钝化的效果越好。氢钝化可采用离子注入或等离子体处理。在多晶硅太阳电池表面采用pECVD法镀上一层氮化硅减反射膜,由于硅烷分解时产生氢离子,对多晶硅可
多晶硅薄膜太阳电池,结构为背电极/衬底/制有P-N结的多晶硅薄膜/栅状上电极,在电池入射光表面有氮化硅减反射膜,其特征在于:在衬底和制有P-N结的多晶硅薄膜之间还有重掺P