氮化硅

beam sources)及各种相关工艺设备。目前，公司侧重于大规模等离子体工艺设备的生产。如利用PEVCD淀积氮化硅对晶体硅（单晶及多晶硅）太阳能电池进行减反射薄膜敷层加工的高产量在线式PEVCD设备，已成为公司一大亮点。

，从空白硅片到氮化硅(SiN)涂布、金属镀膜和最终的分类测试，而该设备则用于其中一部分检测。KLA-Tencor表示，PVI-6软件提升了整体太阳能电池量产工艺的成品率，并支持更精确的产品分选

专用生产设备，几年后将实现大规模应用。 先进的高质量钝化膜将取代当前单一的氮化硅膜。随着选择性发射结工艺的广泛应用，更迫切地需要有先进的钝化膜进一步将上表面的载流子复合速度降低一个

完全需要进口；PECVD 氮化硅沉积设备、丝网印刷机、电池片分选机、串联焊接机等性能均不能满足现代化生产需要。这些设备都需要全套引进，等等。 这些差距同研发基础和工业基础薄弱有关。企业通过

做大做强光伏产业链。新余市先后引进了以生产坩埚、氮化硅、太阳能电池、太阳能路灯、草坪灯等一批光伏产业上下游企业和配辅料项目相继入驻，产业集聚效应开始显现。目前，全市共有光伏企业8家，正在实施的光伏产业

接触式加工(对减少晶片损伤非常重要)首 先利用口开关三倍频355nmNd:YVO4激光器在晶体硅晶片背面的氮化硅或者氧化硅薄层中烧蚀出呈指状交叉的发射区和基区图形。晶片的任何损伤都会缩 短载流子的寿命
，同样也会降低光一电转换效率。然后利用氢氧化钾(KOH)腐蚀加工以去除激光加工所导致的损伤部分。经过腐蚀之后，发光物质扩散形成发射 区，剩下凸起的氮化硅和氧化作为基区。在湿法化学腐蚀之前，下一步加工

太阳能电池组件内部使用的是高转换率的5’单晶氮化硅电池片。 “获得这一证书是对中国光伏集团晶硅太阳能光伏电池组件设计和生产技术的充分肯定，也反映出了我们在生产标准和流程效率上的不断提高，和对去稳定高效

方面的技术，这主要是一项能够在很薄的材料上读写数据的一项技术。 使用类似的技术将用来生产电池板，一般使用一种叫PECVD的设备，借助等离子体将气体的氮化硅均匀的沉淀下来，生成片基。从而高质量地来防止

在150mm见方的电池单元表面形成的氮化硅膜上，利用激光打出1亿个小孔。在量产方面该公司开发的激光加工设备的处理能力如何提高是一大课题。如果能够提高激光加工设备的处理能力，便可降低单位输出功率的制造成本。

，每个150mm见方的电池单元就可提高0.4W的输出功率。这样，由50个电池单元排列而成的模块，其输出功率就可提高20W。 　　要形成“蜂窝构造”，就需要在150mm见方的电池单元表面形成的氮化硅膜上