氮化硅
，可以看到银浆成分的分布。我们知道，在电池片印刷之前要进行镀膜，一般镀的是氮化硅薄膜，它是一个绝缘膜，我们需要首先将绝缘膜打开，将金属浆料与半导体材料进行接触。怎么打开?我们一般使用的是铅材料，也就
气相沉积在硅片表面形成氮氧化硅钝化膜，减少硅片表面的电子复合，从而提升电池发电效率;与此同时，通过化学气相沉积生成氮化硅吸光膜，减少光反射，增加太阳光的吸收利用效率。由于电子级硅烷气具有纯度高、沉积
硅烷气通过化学气相沉积在硅片表面形成氮氧化硅钝化膜，减少硅片表面的电子复合，从而提升电池发电效率；与此同时，通过化学气相沉积生成氮化硅吸光膜，减少光反射，增加太阳光的吸收利用效率。由于电子级硅烷气具有
氮化硅层、采用电镀和化学法的双路线工艺，实现了对铜栅线的精准加工，同时考虑了对废水的环保处理。▶ 湖南红太阳光电科技有限公司 赵志然博士二次硼扩设备作为TOPCon核心装备，面临耗材比例高、设备故障率
微米的侧切面进行钝化，通过沉积由氮化硅覆盖的氧化铝和氧化硅层来实现，侧切面损坏性蚀刻之后进行钝化工艺。然而，生产这种电池需要几个额外的预金属化工艺步骤或金属化后化学蚀刻工艺，这就使得实现工业化量产具有
pSPEERPET太阳能电池的工艺流程。硅片电阻率0.3Ω/cm≤ρB≤0.9Ω/cm，氮化硅(SiNx)钝化正面掺磷发射极，SiNx+AlOx双层薄膜钝化电池背面，硅片背面颜色浅黄色，如图Fig3(a)所示。本文
石墨舟清洗行业的一次重要变革，能更有利地推进TOPCon整线的技术迭代升级以及产线良率及效率的提升。该设备适用性和匹配性极佳，不仅可以针对正背膜氮化硅石墨舟和POLY石墨舟的快速清洗，也可用于陶瓷件
。第二个是拆出的构成部件的组分分离，主要是电池片上的组分提纯，不同的分离纯度，对技术的要求不同，以硅为例，要想获得太阳级硅，就需要有效去除电池片表面的金属以及氮化硅等电池结构膜层，这是单纯的物理法不能实现
金字塔熔化明显VS紫外飞秒金字塔形貌基本不变图2 绿光皮秒(a)、绿光飞秒(b)、紫外飞秒(c)刻蚀绒面氮化硅膜层SEM图像从图中对比可以看出飞秒激光对金字塔的形貌保存有明显优势纳/皮秒刻蚀对硅基底表面
影响大VS飞秒刻蚀对硅基底表面影响小图3 绿光纳秒(a)、绿光皮秒(b)、绿光飞秒(c)、紫外飞秒(d)刻蚀抛光面氮化硅膜层SEM图像从图中对比可见飞秒激光刻蚀对硅基底表面的影响明显最小a 绿光皮秒大
的氮化硅膜沉积并在在正面钝化的应用中已经积累了巨大的装机量，相关基于PECVD的设备升级方案变成了光伏企业的首选。但这道选择题还远未结束。即便确认使用了PECVD设备，但在当时PECVD设备采用的是板式
PECVD技术，板式PECVD将钝化膜生长及氮化硅覆膜集成一体，设备及工艺相对稳定，在初期的PERC行业市场中短暂处于主导地位，尤以梅耶博格等海外公司优势突出。但板式PECVD工艺其也存在钝化效果差
、纸质包装材料、石墨制品、木制托盘、金属材料(钢材)、阀门、管件、螺栓、垫片、氮化硅制品、劳保防护用品、光伏产业链产品的销售(涉及许可经营项目，应取得相关部门许可后方可经营)。东方电热表示，相关合同的顺利
