微晶硅膜

技术研究开发部门”。 　　 此次的共同研究，将通过强化大日本网屏制造的分光Ellipso式膜厚测定装置的功能，开发可以正确测定原来难以实现的微结晶硅薄膜的膜厚和膜质的技术

开发部门”。 此次的共同研究，将通过强化大日本屏幕制造的分光Ellipso式膜厚测定装置的功能，开发可以正确测定原来难以实现的微结晶硅薄膜的膜厚和膜质的技术。 微结晶硅薄膜是薄膜硅型

内硅薄膜太阳电池的产品技术将会有所突破。预计到2009年，采用“非晶硅+微晶硅”技术的叠层薄膜电池的光电转换效率将达到10%，而组件的成本将低于1美元/瓦。　　　企业投资力度迅速加大　　　基于近年对

Synova 微水刀激光技术的核心，将被应用于制造太阳能电池的125毫米和156毫米多晶硅EFG 八角形管切片。现已发送、安装了多套LMJ 系统，其余模块将于2009年、2010年整合完毕。 　　硅管
一个里程碑。这份25套LMJ系统的订单是Synova 迄今最大的设备订单之一，这些系统将在欧洲的太阳能加工厂被整合入客户的领先专利硅高效技术——边缘限定硅膜生长(EFG)工艺中。这些LMJ 模块作为

Synova 微水刀激光技术的核心，将被应用于制造太阳能电池的125毫米和156毫米多晶硅EFG 八角形管切片。现已发送、安装了多套LMJ 系统，其余模块将于2009年、2010年整合完毕。 硅管切片
里程碑。这份25套LMJ系统的订单是Synova 迄今最大的设备订单之一，这些系统将在欧洲的太阳能加工厂被整合入客户的领先专利硅高效技术——边缘限定硅膜生长(EFG)工艺中。这些LMJ 模块作为

江苏如东洋口港建设国内首座普及型光伏电站，此举标志着我国太阳能光伏发电进入实质性普及型应用新阶段。 洋口港1兆瓦非晶硅光伏并网电站，使用非晶硅薄膜电池1.6万片，共40个方阵，占地30亩
倍，国内市场还不能承受。 总部设在上海的南通强生光电以全新的理念抓住市场契机，采用世界上最先进的非晶硅薄膜光伏电池技术和建设大型光伏电站最新设计，确定在江苏如东洋口港建设首座1兆瓦实用型光伏电站

据日经BP社网站报道，三菱电机利用具有实用性能的150mm见方多晶硅太阳能电池单元，使光电转换效率达到了18.0%。对此进行评估的是官方认证机构产业技术综合研究所。可在同一面积的情况下
，使发电量比以往增加7%，即使是在屋顶面积狭小等的有限的设置空间，也可以确保足够的发电量。 为了提高太阳能电池单元的效率，三菱电机使用了三项自主开发技术。一，通过使用纳米掩膜材料的RIE

涉及以下几个方面：非晶硅光致退化机理和稳定性改进；薄膜多晶硅低温成核及晶化机理；微晶硅生长机制、结构控制及电性能调制；特定光伏薄膜材料，特别是纳米技术微结构与光伏性能及制备新技术的研究，拓宽光谱响应的

Module Production”）。1.4m×1.1m这一尺寸在量产中的串联薄膜硅太阳能电池中为全球最大。 在非结晶硅和微结晶硅重叠的串联构造的薄膜硅太阳能电池中，膜厚达到2μm以上的微

： 低压化学气相沉积（LPCVD） 这是一种直接生成多晶硅的方法。LPCVD是集成电路中所用多晶硅薄膜的制备中普遍采用的标准方法，具有生长速度快，成膜致密、均匀、装片容量大等特点。多晶硅