微晶硅膜

块底板上同时形成微结晶硅薄膜。在成膜室中纵向配置三个电极，将底板排列于各电极的两侧。在这种状态下，以30nm/秒的成膜速度形成1.5μ～2μm厚的微结晶硅薄膜。通过同时成膜弥补了成膜速度低的缺陷

： 关 键 技 术 1．低成本、低能耗、高质量高纯多晶硅材料制备技术与设备。 2．非晶硅/微晶硅、碲化镉、铜铟镓硒等薄膜太阳能电池。 3．太阳能光伏电池清洗

透过率。目前，产量最多的薄膜电池是双结非晶硅电池，并且已经开始向非晶/微晶复合电池转化。因此，非晶/微晶复合叠层能够吸收利用更多的太阳光，提高转换效率，即将成为薄膜电池的主流产品。 　　2.导电性

屏幕印刷采用17m布线 （1）屏幕印刷是用于半导体层、绝缘膜、金属层、有色层及粘着层等的印刷技术。屏幕印刷的优点是设备价格低廉，仅为1000万日元左右。而且，对印刷用墨水材料的制约因素较少
，材料使用效率高达约80％。主要适合于大面积成膜注1）。 注1）加工尺寸较大，为数十m，缺点是很难制成厚度小于30m的薄膜。 近年来，屏幕印刷量产水平的加工尺寸已从100m微细化到了

照市场需求，弹性生产单层或多层非晶硅太阳能电池。未来八阳将结合迎辉在光学膜产业的微成型、连续式真空镀膜以及可挠基材涂布等技术与经验；同时，透过迎辉的供货商与供应链，也使八阳在太阳能市场更具竞争力
台湾薄膜太阳能厂所投入的非晶硅薄膜，多属单层；在日本，各硅薄膜电池厂为提升转换率以及耐用度，多配合微晶硅技术，发展成双层甚至是 3层的堆栈结构，例如夏普 (Sharp)。 　　迎辉表示，八阳的设备可依

从技术上讲，最为成熟的薄膜太阳能电池当属硅基薄膜太阳能电池，包括非晶硅薄膜太阳能电池和非晶硅/微晶硅双叠层薄膜太阳能电池，在进行薄膜电池投资或研究时，应着重考虑原材料拥有量和技术进步的风险。薄膜电池

——中国电子报 从技术上讲，最为成熟的薄膜太阳能电池当属硅基薄膜太阳能电池，包括非晶硅薄膜太阳能电池和非晶硅/微晶硅双叠层薄膜太阳能电池，在进行薄膜电池投资或研究时，应着重考虑原材料拥有量和

他发明了纳米硅隧道结技术，从而制成当时（1994年）世界上能量转换效率最高的大面积多结非晶硅簿膜太阳能电池（11.3%）。此后他直接领导了技术产业化的工作，参与了世界上第一条10MW生产线建设的整个
以晶体硅光伏产品作为切入点，以高端薄膜太阳能电池作为目标市场，今年11月，浙江正泰太阳能科技将启动其第一条薄膜太阳能电池中试线，该中试线采用非晶微晶工艺。据悉，初期产品稳定后的转化效率将达到9%，并

门”。 　　 此次的共同研究，将通过强化大日本网屏制造的分光Ellipso式膜厚测定装置的功能，开发可以正确测定原来难以实现的微结晶硅薄膜的膜厚和膜质的技术。 　　 微结晶硅薄膜是薄膜硅型太阳能电池使用

Corporation，原RCA实验室）担任新材料研发部门主管，主导开发了多项具革命性的光电材料集成技术，其中包括世界第一台以非晶硅和磷镓砷铟集成而制作的可变波长激光器以及世界上做在塑料簿膜上最快的硅集成电路。另外