微晶硅膜

及降低生产成本，爱发科决定在华生产。新工厂将设于爱发科在苏州的电子部件和LED制造装置生产工厂的毗邻。主要生产支持薄膜硅太阳能电池微结晶硅成膜用的第5.5代底板的PE-CVD装置CIM-1400和支持

装置内部还配备了自动清洗功能，可连续运转三个月”（高塚）。 　　不过，从2007年10月开始启动生产线的非晶硅与微结晶硅的串联式太阳能电池中却出现了一项失算。“由于尺寸为1.1m×1.4m的面板初期

瑞士欧瑞康太阳能（Oerlikon Solar）宣布建成了薄膜硅型太阳能电池的新生产线THINFAB。其特点是制造成本仅为0.5欧元/W。采用在1.1m1.3m底板上集成非晶硅层及微晶硅层的串联构造

　　瑞士欧瑞康太阳能（Oerlikon Solar）宣布建成了薄膜硅型太阳能电池的新生产线“THINFAB”。其特点是制造成本仅为0.5欧元/W。采用在1.1m×1.3m底板上集成非晶硅层及微晶硅层

结果。 　　利用涂布工艺成膜的是ITO、Ag和硅，使用大日本网屏的线性涂布机（Line Coater）涂布三菱材料的纳米油墨后加热形成。非晶硅型膜和微晶硅膜与原来一样仍采用真空工艺。 　　组合

质量，必须要较厚地层叠微晶硅。目前为2～3μm的水平。如果要进一步加厚，就需要采用高速成膜技术。但是层叠的速度越快，膜的质量就越差。显然，这是一种此消彼长的关系。如何解决该课题是薄膜硅型太阳能电池首要的

装置“RE-8000”系列的选配功能实际应用。双方从2008年11月就开始共同开发薄膜硅型太阳能电池评测技术。 　　薄膜硅型太阳能电池大多重叠非晶硅膜和微晶硅膜后使用。其中，非晶硅膜存在的课题是照射光线后会劣化

在3亿元～4亿元人民币之间，而25兆瓦晶体硅太阳能电池生产线的设备成本只有4000万元～5000万元。 　　缺陷背后目前赛维和新奥所使用的都是美国应用材料公司所提供的双节非/微晶硅薄膜电池生产线。这条
电池。并且设备投资太大，投资回收年限太长。此外，薄膜电池的光电转换率也不如晶硅电池。非/微硅薄膜电池的转换效率在6%8%；而晶硅电池的转换效率在14%19%。英利能源（北京）有限公司副总经理许洪建说，英利

，公开资料显示，其价格在3亿元～4亿元人民币之间，而25兆瓦晶体硅太阳能电池生产线的设备成本只有4000万元～5000万元。缺陷背后目前赛维和新奥所使用的都是美国应用材料公司所提供的双节非/微晶硅
，薄膜电池的光电转换率也不如晶硅电池。非/微硅薄膜电池的转换效率在6%―8%；而晶硅电池的转换效率在14%―19%。英利能源(北京)有限公司副总经理许洪建说，英利的“熊猫”系列单晶硅电池转换率达到18.4

体系，培育出中国凯盛、方兴科技、华益导电膜、中航三鑫等行业龙头。取得了球形硅微粉、玻璃空心微珠、太阳能超白玻璃、抗反射玻璃、太阳能电池玻璃基板、非晶硅薄膜太阳能电池等一批科技成果，申报各类专利100多件