三菱重工业公开了2007年第二季度开始量产的外形尺寸为1.4m×1.1m的串联薄膜硅太阳能电池技术（演讲编号:3DP.2.4“The Worlds Largest a-Si/mc-Si Tandem Module Production”）。1.4m×1.1m这一尺寸在量产中的串联薄膜硅太阳能电池中为全球最大。
在非结晶硅和微结晶硅重叠的串联构造的薄膜硅太阳能电池中，膜厚达到2μm以上的微结晶硅成膜速度十分关键。三菱重工业为了提高微结晶硅成膜速度，采用了通过施加60MHz频率来产生等离子的手段。这样可获得13.56MHz时的10倍成膜速度。
但是，随着底板的面积的增大，等离子分布不均等课题也随之产生。为此，三菱重工业开发出了在调制相位的同时施加60MHz频率的PMM（Phase Modulation Method）技术，从而获得了在1.4m×1.1m的底板上稳定、高速形成微结晶硅的效果。微结晶硅的成膜速度达到了2.3nm/秒，可在量产线上以3分钟1枚的频率制造产品。目前的模块转换效率在实现稳定化后可达到9.5％左右。为了实现10.4％的目标，该公司正在继续改进。
三菱重工业在此次的发表中公布了今后的生产计划。目前，该公司的串联薄膜硅太阳能电池产能为年产40MW。今后计划在将这一产能提高至50MW，再加上2007年第二季度开工建设的年产50MW的新工厂，力争2008年内达到年产100MW。由于非结晶硅太阳能电池的产能也得到了提高，因此该公司的太阳能电池产能届时将合计达到年产128MW。另外，该公司还计划建设年产100MW规模的新工厂。不过，要想实现这一目标，还面临经验丰富的技术人员不足的问题，需要通过企业收购等多种途经来予以解决。
索比光伏网 https://news.solarbe.com/200709/11/1770.html
在非结晶硅和微结晶硅重叠的串联构造的薄膜硅太阳能电池中，膜厚达到2μm以上的微结晶硅成膜速度十分关键。三菱重工业为了提高微结晶硅成膜速度，采用了通过施加60MHz频率来产生等离子的手段。这样可获得13.56MHz时的10倍成膜速度。
但是，随着底板的面积的增大，等离子分布不均等课题也随之产生。为此，三菱重工业开发出了在调制相位的同时施加60MHz频率的PMM（Phase Modulation Method）技术，从而获得了在1.4m×1.1m的底板上稳定、高速形成微结晶硅的效果。微结晶硅的成膜速度达到了2.3nm/秒，可在量产线上以3分钟1枚的频率制造产品。目前的模块转换效率在实现稳定化后可达到9.5％左右。为了实现10.4％的目标，该公司正在继续改进。
三菱重工业在此次的发表中公布了今后的生产计划。目前，该公司的串联薄膜硅太阳能电池产能为年产40MW。今后计划在将这一产能提高至50MW，再加上2007年第二季度开工建设的年产50MW的新工厂，力争2008年内达到年产100MW。由于非结晶硅太阳能电池的产能也得到了提高，因此该公司的太阳能电池产能届时将合计达到年产128MW。另外，该公司还计划建设年产100MW规模的新工厂。不过，要想实现这一目标，还面临经验丰富的技术人员不足的问题，需要通过企业收购等多种途经来予以解决。
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