单晶制绒设备

线设备中的8种，其中有6种（扩散炉、等离子刻蚀机、清洗/制绒机、石英管清洗机、低温烘干炉）已在国内生产线上占据主导地位，2种（管式PECVD、快速烧结炉）与进口设备并存但份额正逐步增大。此外，全自动

、低能耗、全自动单晶炉，吨级多晶硅铸锭炉，大尺寸、超薄硅片多线切割机，硅片自动分选机等关键生产设备。支持多槽制绒清洗设备、全自动平板式等离子体增强化学汽相沉积（PECVD）、激光刻蚀机、干法刻蚀机

上光伏装备最主要的供应商和整线生产工艺培训及服务企业之一。工艺是装备的灵魂，好装备还要有配套的好工艺。在光伏电池生产线上，禹庆荣为记者一一介绍了各种光伏电池生产工艺，比如清洗制绒、扩散制结、刻蚀、烘干烧结等工艺

亿元人民币，是我国真空晶体生长设备（包括软轴单晶炉、多晶硅铸锭炉、区熔炉、多晶硅还原炉等）研发制造于一体的专业生产厂家。单晶硅拉制、多晶硅铸锭设备2、上海汉虹8英寸135KG装料量单晶生长炉（拉制）由

、单晶槽式清洗/制绒机等设备已经接近或达到国际先进水平，基本可以满足行业的需要，可替代进口设备，目前市场占有率也相对较高。 　　扩散炉和PECVD，目前大量应用的国产设备都是管式的，由于可以满足

来看，国产单晶硅生长炉、多晶硅铸锭炉、线切方机、单晶槽式清洗/制绒机等设备已经接近或达到国际先进水平，基本可以满足行业的需要，可替代进口设备，目前市场占有率也相对较高。扩散炉和PECVD，目前大量应用的

、单晶槽式清洗/制绒机等设备已经接近或达到国际先进水平，基本可以满足行业的需要，可替代进口设备，目前市场占有率也相对较高。扩散炉和PECVD，目前大量应用的国产设备都是管式的，由于可以满足生产工艺的要求

后道的组件生产外，电池制造工序涉及清洗、制绒、扩散、刻蚀、减反射膜制备、电极印刷、低温烘干、高温烧结、自动测试分捡等环节。美国GTSolar公司在多晶硅设备行业耕耘多年。2003年，第一台
了很多装备制造企业，光伏制设备的国产化进程更进一步。中国可再生能源学会副理事长孟宪淦认为，从总体上讲，我国光伏装备制造业刚刚起步，处于国产化替代进口阶段。2004年，德国对可再生能源法进行修改，保证了

级多晶硅铸锭炉，大尺寸、多线切割机，硅片自动分选机等太阳能硅片关键生产设备的国产化，支持多槽制绒清洗设备，全自动平板式PECVD，激光刻蚀机，全自动印刷机等晶硅电池生产线设备和PECVD等薄膜电池生产设备

形成小尺寸整线生产能力。在未来3-5年内，进一步支持大尺寸、全自动单晶炉，吨级多晶硅铸锭炉，大尺寸、多线切割机，硅片自动分选机等太阳能硅片关键生产设备的国产化，支持多槽制绒清洗设备，全自动平板式