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高性能ALD钝化和RIE干法制绒生产解决方案。微导RIE黑硅与ALD背钝化技术的结合，为晶硅太阳能电池效率突破、降低成本提供最佳量产方案。4月19-21日，江苏微导纳米装备科技有限公司将首次亮相SNEC上海国际光伏展，并进行ALD和RIE设备的产品发布。欢迎客户前来洽谈咨询。

在生产过程中易碎的问题。根据EnergyTrend的调查，目前主流多晶电池的转换效率为18.4%，经黑硅制绒工艺后，依干法、湿法与添加剂等三大工艺差别，效率最多可提高到19%左右。而目前多晶
多晶电池除了黑硅还有哪些提效降本的选项?美国材料商1366 Technologies研发Direct Wafer(直接硅片)技术，与Hanwha Q CELLS共同将应用此技术的多晶PERC

多晶硅片在量产中可以引入金刚线切技术，并将多晶硅电池片的光电转换率提升0.3%以上。吕锦标表示：技术路线上，采用金刚线切割+湿法黑硅+PERC技术可使多晶电池达到19.5%，采用金刚线切割+干法
之势。黑硅破解多晶无缘金刚线切之痛金刚线切是单晶降本的重大突破，但这一新技术在引入到多晶硅片生产流程时，却一度出现了水土不服，保利协鑫副总裁吕锦标介绍，简单来讲，单晶硅锭与多晶硅锭在晶格结构

单晶组件的性价比将更加明显，多晶为主之厂商为维持竞争力，导入金刚线切多晶硅片变为势在必行的选项，但与之搭配的黑硅技术情形仍显复杂。不仅干法、湿法、添加剂直接蚀刻等技术路线未定，硅片厂、电池厂仍在权衡由哪一
方进行黑硅技术的导入，黑硅电池也仍需解决效率的稳定性以及外观问题。由此看来，同时拥有硅片、电池片、组件的垂直一体化厂商可能在第三季领先力推黑硅组件，为黑硅产品的推动领航。预期明年黑硅产品将明显放量，让

价格跌落，P型单晶组件的性价比将更加明显，多晶为主之厂商为维持竞争力，导入金刚线切多晶硅片变为势在必行的选项，但与之搭配的黑硅技术情形仍显复杂。不仅干法、湿法、添加剂直接蚀刻等技术路线未定，硅片厂、电池厂
仍在权衡由哪一方进行黑硅技术的导入，黑硅电池也仍需解决效率的稳定性以及外观问题。由此看来，同时拥有硅片、电池片、组件的垂直一体化厂商可能在第三季领先力推黑硅组件，为黑硅产品的推动领航。预期明年黑硅产品

量，降低多晶电池片的光反射率以推升转换效率。故金刚线切搭配黑硅技术的工艺，能同时兼顾硅片端降本与电池片端提效两方面。目前黑硅技术主要分成干法制绒的离子反应法(Reactive Ion
全面投入量产。黑硅技术黑硅对光伏行业来讲，不是一个新技术。不过，黑硅技术近期的发展热潮可能归结于两个主要因素：第一，金刚线切割能够大幅度的降低多晶硅片成本，但传统的酸制绒导致电池效率降低，而

端降本与电池片端提效两方面。目前黑硅技术主要分成干法制绒的离子反应法(Reactive Ion Etching，RIE)技术，以及湿法制绒的金属催化化学腐蚀法(metal Catalyzed
%，远远超过这一要求，走到了行业前端。目前，天合光能已经在黄金线上实现22.61%电池效率和300W组件功率的稳定生产，并即将全面投入量产。黑硅技术黑硅对光伏行业来讲，不是一个新技术。不过，黑硅

同时兼顾硅片端降本与电池片端提效两方面。目前黑硅技术主要分成干法制绒的离子反应法（Reactive Ion Etching，RIE）技术，以及湿法制绒的金属催化化学腐蚀法（metal Catalyzed
低于干法制绒，但现有技术尚未成熟，容易导致外观颜色不均、转换效率较低、废液难以回收等议题，目前仍无法解决。因此，近两年黑硅的产能扩充将不如PERC当年迅速。不过，为抵御单晶产品步步进逼，多晶电池片厂商也

太阳能电池技术提供高性能ALD钝化和RIE干法制绒生产解决方案。与传统的铝背场电池相比，微导光伏技术适用于多种高效晶硅太阳能电池生产线的新建、改造和升级,可以将太阳能电池转换效率进一步提升1%以上。微
导RIE黑硅与ALD背钝化技术的结合，为晶硅太阳能电池效率突破、降低成本提供最佳量产方案。 FR：无锡先导智能装备股份有限公司