隶属于无锡先导集团的江苏微导纳米装备科技有限公司是一家年轻的科技公司，致力于为国内外的高科技行业提供最新最可靠的生产设备和解决方案。其中专门为新型高效太阳能电池的表面钝化所开发的原子层沉积技术，在不到一年的时间内就完成了从技术评估、设计定案、机械和工艺验证，直到完成最终的客户应用评估等工作，而支撑这一切从无到有的核心便是其背后强大的技术团队。我们从芬兰、新加坡引进博士团队，加上中科大等国内名校毕业的博士、硕士，其中数人更是获得了江苏省双创人才项目的技术专家，是真正具有高新技术产业化经验的团队。
这次开发的用于太阳能电池表面钝化的设备经过数轮的技术攻关，单批次的硅片装载量达到了惊人的1600片，同时可以保持片内、片间的薄膜均匀性在2%以内，电池电学性能几乎一致的优异表现。在整机产能达到每小时4000片以上的前提下，可以有效的降低昂贵化学反应源的耗量，深度集成的自动化上下料确保了0.05%以下的碎片率，极大的降低了实际使用成本。其最核心的ALD原子层沉积工艺可以在薄膜厚度低至2纳米时依旧对电池表面提供良好的钝化，这是其它技术从原理上就无法达到的条件，在核心技术上达到了国际第一梯队的领先水平。
原子层沉积(AtomicLayer Deposition，ALD)技术是在纳米技术领域及其它多个重要产业领域中的一项具有前瞻与共性的新兴关键技术。现有的ALD量产技术都被国外的设备大厂如ASM、AMAT、TEL等垄断。微导正在开展的ALD设备产品技术性能达到国际领先水平，打破国外垄断，填补了国内空白。同时，ALD关键技术的成功攻关，将促进多个工业领域包括半导体、CMOS图像传感器、LED、MEMS、显示器、光伏和锂离子电池的产业化发展。据悉，微导公司的《基于原子层沉积(ALD)技术的微纳器件制造关键技术研发》项目，还入选了“2016年江苏省重点研发计划(产业前瞻与共性关键技术)项目”。
在不断增加的高效率、低成本晶硅太阳能电池市场需求驱动下,微导为单、多晶高效太阳能电池技术提供高性能ALD钝化和RIE干法制绒生产解决方案。与传统的铝背场电池相比，微导光伏技术适用于多种高效晶硅太阳能电池生产线的新建、改造和升级,可以将太阳能电池转换效率进一步提升1%以上。
微导RIE黑硅与ALD背钝化技术的结合，为晶硅太阳能电池效率突破、降低成本提供最佳量产方案。
FR：无锡先导智能装备股份有限公司
