10月13日，2023年“科创江苏”创新创业大赛装备制造领域总决赛在徐州举行。来自全省各地的高校、科研机构、高新企业的29组选手现场交锋，经过激烈角逐，由晟成光伏杨星博士带来的项目——空间型原子层沉积量产工艺及装备开发，荣获装备制造创业组一等奖。
本届“科创江苏”创新创业大赛以“科技自立自强，双创驱动发展”为主题。大赛自创办以来，坚持以赛促创，持续推动大赛成果转化应用，推动优质项目孵化落地，实现项目与地方产业的协同对接，逐步打造成为选拔、培训、推介、落地、培育的全链条双创服务平台，为我省经济社会高质量发展注入新动能。
晟成光伏空间型原子层沉积量产工艺及装备开发项目基于空间式SALD的技术，研究适合于钙钛矿电池电子传输层SnO2膜层以及封装阻水层Al2O3膜层的原子层沉积技术，结合晟成光伏的钙钛矿电池中试线的验证测试，优势资源整合，基础研究与产业化应用研究优势互补，开发了大产能大幅宽空间原子沉积薄膜的量产设备及工艺。
原子层沉积技术在光伏、半导体领域均有着广阔的应用前景与良好的经济效益。当前，ALD设备国产化市场占有量仅为2%，在这一背景下，晟成光伏积极响应国家创新发展战略，致力于提高国内ALD设备的研发水平和生产能力，以满足不断增长的市场需求。未来，晟成光伏将在技术创新的道路上继续努力前行，为更清洁、可持续的能源转型贡献更多创新和力量。
责任编辑：周末
