注：①每家硅片企业的标准都不一样，仅供参考，②以下标准针对的硅片厚度为220μm。)
一、优等品
1：硅片表面光滑洁净。
2：TV：220±20μm。
3：几何尺寸：
边长125±0.5mm;对角150±0.5mm、148±0.5mm、165±0.5mm;
边长103±0.5mm、对角135±0.5mm;
边长150±0.5mm、156±0.5mm、对角203±0.5mm、200±0.5mm。
同心度：任意两个弧的弦长之差≤1mm。
垂直度：任意两边的夹角：90°±0.3。
二、合格品
一级品：
1：表面有少许污渍、轻微线痕。
2：220±20μm≤TV≤220±30μm。
3：几何尺寸：
边长125±0.5mm;对角150±0.5mm、148±0.5mm、165±0.5mm;
边长103±0.5mm、对角135±0.5mm;
边长150±0.5mm、156±0.5mm、对角203±0.5mm、200±0.5mm。
同心度：任意两个弧的弦长之差≤1.2mm。
垂直度：任意两边的夹角：90°±0.5,cheapradiishoes。
二级品：
1：表面有少许污渍、线痕、凹痕，轻微崩边。
2：220±30μm≤TV≤220±40μm。
3：凹痕：硅片表面凹痕之和≤30μm。
4：崩边范围：崩边口不是三角形状，崩边口长度≤1mm，深度≤0.5mm
5：几何尺寸：
边长125±0.52mm;对角150±0.52mm、148±0.52mm、165±0.52mm;
边长103±0.52mm、对角135±0.52mm;
边长150±0.52mm、156±0.52mm、对角203±0.52mm、200±0.52mm。
同心度：任意两个弧的弦长之差≤1.5mm。
垂直度：任意两边的夹角：90°±0.8。
三级品：
1：表面有油污但硅片颜色不发黑，有线痕和硅落现象。
2：220±40μm≤TV≤220±60μm。
3：硅落：整张硅片边缘硅晶脱落或部分硅晶脱落。
三、不合格品
严重线痕、厚薄片：TV>220±60μm。
崩边片：有缺损但可以改Φ103的硅片。
气孔片：硅片中间有穿孔。
外形片：切方滚圆未能磨出的硅片。
倒角片(同心度)：任意两个弧的弦长之差>1.5mm。
菱形片(垂直度)：任意两边的夹角>90°±0.8。
凹痕片：硅片两面凹痕之和>30μm。
脏片：硅片表面有严重污渍且发黄发黑。
尺寸偏差片：几何尺寸超过二级品的范围。
