大且复杂的机台、繁琐的管道、漫长的传输带、高耸的价格，提及半导体或光伏制造设备，你首先想到的是不是这些？但很多时候，隐藏在视线以外不被注意的真空和尾气处理系统往往成为了制造的关键环节。它们一般安装在工艺设备或辅助厂房中，但却是保障高效、安全生产的关键。
“真空系统可以从工艺设备中抽出具有潜在危险的生产气体和制程副产物，并把他们输送到处理系统中，在那里尾气被分解并得到安全地处理。晶圆厂多达20%的能耗来自于真空泵和尾气处理系统，Edwards一直都在提高其性能以实现成本的降低。”Edwards亚太区总裁Neil Lavender-Jones说，“Edwards与业界同行的不同之处在于，我们并非提供整条生产线，而是专注于为制造设备提供配套的干式真空泵、分子泵和尾气处理系统等。”
选择最佳成本和能耗的真空泵需要充分了解尾气处理和工艺设备对于真空的要求，以及真空系统的分布状况。太阳能和最新的半导体制造工艺（如砷化镓化合物半导体）要求能够处理大流量氢气的真空技术，但是氢气是一种难以抽取的气体，因为它分子量小，粘度低。Edwards推出的iXH真空泵系统采用一系列具有高抽气速率的干式泵和增压泵以达到最佳的压缩比，从而实现高效率地抽取氢气，满足各种太阳能和半导体制造工艺中的现场安装和性能要求。
通常来说，在经济衰退之后，半导体制造业通常会发生一些变化。例如，在2001年的衰退之后，半导体产业开始出现三个主要技术转变：光刻向更小尺寸如0.13μm转变，采用更新的金属化方案，转向300mm晶圆。而2009年衰退过后也不例外，半导体产业采用300mm晶圆的趋势非常明显，产业积极向300mm晶圆过渡，50%的制造业务都转向了这种尺寸较大的晶圆。此外，32nm及更小节点也催生出了越来越多的新工艺。
变则通，通则达。“无论对于产业还是对于公司，保持增长的关键其实就是两个字：创新。产品创新性越强，最终会卖得越好，设备制造商需要依靠创新来推动制造业务的增长。45nm在中国正在逐渐走向成熟，很多新的制造工艺和材料，如高k金属栅、低k互连电介质、更高的刻蚀、填充要求等等，都需要更完善的真空泵等辅助设备与之配合。”Neil Lavender-Jones说，“随着全球经济开始复苏，半导体、光伏与平板显示行业也正在反弹，前景是极其乐观的。我们相信，中国将率先恢复经济活力，尤其是光伏和平板显示行业将吸引最多关注和投资。企业需要始终保持对全球市场及其发展的充分了解，从而做好准备更好地应对不断的变化。”
太阳能行业的成本下降主要来自于技术进步和规模效应。Neil Lavender-Jones认为，光伏市场需要整个产业链能够协同合作，将蛋糕做大，产生一定的规模效应后成本也有望随之下降。光伏市场受政策影响也比较大，比如最近德国的入网回购电价(FIT)法案的潜在变化将对许多光伏制造商产生重大影响。作为设备制造商，主要还是依靠技术进步来帮助客户降低成本，途径有很多，例如，高效而安全的处理尾气、最小化设备采购成本、安装迅速、设计最具能效的组件、减少运营成本、降低维修成本，减少维修时间等。此外还要开发适应市场的新产品。虽然市场对于新产品的接受需要一定的时间，开始投资可能会比较高，但工艺设备的可靠性和产能得到提高将会带来更多的利益。
“除光伏市场以外，Edwards已经看到中国LED市场的快速成长，化合物半导体的制造正在经历飞速增长，对尾气处理提出独特的要求。工艺中需要用到很多毒性很强的物质，因而处理过程是不可或缺的，但同时又要求低成本。”Neil Lavender-Jones说，“新市场需要新技术，在技术上提速始终是制胜之本。”
索比光伏网 https://news.solarbe.com/201005/27/10847.html
