三菱电机在2010年2月16日于东京举办的“研究开发成果发布会”上，公开了该公司首款薄膜硅型太阳能电池的开发情况。目前试制的5mm见方薄膜硅型太阳能电池稳定化加工前的转换效率为14.8％。三菱电机自信地表示，“该成果接近KANEKA相同面积产品获得的15％的效率”。测量为三菱电机实施，实用化日期尚未确定。
三菱电机此次试制的薄膜硅型太阳能电池，配备了3层吸收波长各不相同的发电层。各层采用的具体材料没有公开，但组合使用了非晶硅类材料及微结晶硅类材料。
为转换效率实现14.8％做出贡献的是，可削减各层损耗的元件设计技术及提高光密封效果的透明导电膜的凹凸形成技术。这些技术是采用半导体及液晶面板的技术开发而成的。
此次的薄膜硅型太阳能电池从07年底在三菱电机尖端技术综合研究所（尼崎市）开始进行开发。实验设备最大可试制90mm见方的薄膜硅型太阳能电池。该公司计划今后进一步扩大面积以及提高转换效率。
在日本大型太阳能电池厂商中，夏普及三洋电机正在量产或准备量产薄膜硅型太阳能电池。京瓷及三菱电机则认为“薄膜硅型太阳能电池较多晶硅型太阳能电池更具优越性”，所以一直在致力于开发多晶硅型太阳能电池。此次，三菱电机公开了有关薄膜硅型太阳能电池的具体开发成果，今后，京瓷的举动将更受关注。
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