欧瑞康太阳能KAI 1200沉积系统被授予“薄膜组件生产最佳技术产品”称号
1.业界领先的40MHz技术
2.提升30%生产效率
3.提升了吸收层的质量
4.拥有市场上最高转换效率的薄膜硅电池
2009年6月3日于慕尼黑 – 欧瑞康太阳能，世界领先的薄膜硅光伏电池工艺和生产设备供应商，在2009年慕尼黑的德国太阳能技术国际贸易博览会(Intersolar)期间被评为2009年度CELL奖项得主。评审团将欧瑞康太阳能的KAI 1200 PECVD（等离子体增强化学气相沉积）系统评为“薄膜组件生产最佳技术产品”。“我们对于这一成就以及欧瑞康技术的领先性及适用于生产的设备受到认可而倍感骄傲，”欧瑞康太阳能CEO Jeannine Sargent女士说道，“奖项折射出我们在薄膜光伏方面投入了巨大的科研开发精力。欧瑞康将专注于继续保持其技术领先性，保持技术发展道路的行业领先，使太阳能产业变得经济可行”。欧瑞康太阳能是硅基薄膜太阳能技术及提供端对端生产制造方案的世界领先者，已在全球拥有10个在运行或达到满量产的客户，累积年产量达到600MWp，所生产的电力能供给48万户居民用以使用。
欧瑞康太阳能的KAI 1200 PECVD（等离子体增强化学气相沉积）是用来沉积硅吸收层的设备，这是欧瑞康太阳能非微晶叠层(Micromorph)薄膜硅光伏技术的核心部分。这些层的沉积是薄膜生产过程中最为关键的步骤之一，该制造步骤的质量很大程度上决定了薄膜光伏组件的整体效率和性能。除了生产高性能的吸收层之外，KAI 1200的设计还使其显著提升了生产速度，将产品生产节拍时间削减了超过30%。KAI 1200所带来的改进是降低整体生产成本的主要因素，用以实现平价上网的目标。
为优化太阳能光伏生产再调整
KAI 1200 PECVD是由另一种半导体制造即薄膜晶体管(TFT)平板显示器生产应用派生而来。改进和优化这一经验证的PECVD技术使其应用于薄膜光伏生产上需要迎接一些至关重要的技术挑战，特别是提高离子源频率来提高沉积速度，与此同时还要保证与更高离子源频率相关联的“驻波效应”不会导致均匀性及组件效能的降低。欧瑞康太阳的工程师们成功地开发出了一种使用40MHz射频激励频率离子源的处理工艺，数倍于业界惯常使用的13.56MHz。基于与瑞士纳沙泰尔的IMT研究所以及瑞士洛桑EPFL的合作研究，欧瑞康发明了一种介质透镜补偿法，补偿驻波效应。
创纪录的效率和吸收层的改进
“将40MHz VHF技术融合到我们专利授权的Plasma Box（等离子盒）中，显著改进了沉积率，并改善了吸收层的性能，使欧瑞康薄膜硅技术的效率达到了创纪录的水平”，薄膜工程与运营部门总监Juerg Henz博士指出。相较于先前报道的普通的1至2埃厚度的沉积率，KAI 1200使欧瑞康太阳能在其1.4m2的太阳能板上以业界最优的性能达到翻倍的沉积率。非晶硅单结组件显示其初始有效面积的转化效率为9.6%，而微晶硅叠层组件已经超越了13%。源于2000年早期的初步概念，欧瑞康太阳能成功地将这一新兴的等离子源应用于大规模生产。自那以后，通过应用欧瑞康太阳能拥有专利的等离子盒40MHz技术已经生产超过90万片的薄膜硅太阳能组件。
“这又是一个欧瑞康太阳能在让太阳能发电在经济上可行目标道路上的里程碑。”
关于欧瑞康太阳能
欧瑞康太阳能为客户提供用于大规模生产低成本和已验证的薄膜硅太阳能组件的端对端生产解决方案。这些全自动的生产解决方案专注于减少器件成本和使量产最大化。同时他们作为整合量测系统的模组化端对端解决方案，在产出和工艺技术方面都可以进行模块化升级。
基于在薄膜技术上的领先地位和与客户紧密合作基础上，欧瑞康太阳能已开发出一套独一无二的创新技术。
关于欧瑞康
欧瑞康Oerlikon (SWX: OERL) 是世界上领先的高科技产业公司，业务主要集中在设备和系统工程。在纺织生产、薄膜太阳能和薄膜镀膜技术、推进器技术、精密和真空系统产业里，欧瑞康代表了领先的产业方案和创新的技术。作为起源于瑞士和具有100年的传统的公司，欧瑞康在2008年的营业额为48亿瑞士法郎，其在37个国家拥有180个办事机构及近18000名的员工，今天已经放眼于全球。集团在各自的市场中排名都是数一数二的。
索比光伏网 https://news.solarbe.com/200906/08/4642.html
