Veeco针对薄膜光伏电池制造推出高量产膜沉积设备
来源:半导体国际发布时间:2008-08-28 22:00:03 针对CIGS(铜铟镓硒)薄膜太阳能电池制造,Veeco Instruments日前宣布推出一款丝网涂胶(Web Coating)系统FastFlex(TM)。这套先进的丝网薄膜沉积系统吞吐量高、性能卓越、拥有成本低,并且膜沉积区具有紧凑的外形尺寸。
Veeco太阳能设备高级副总裁Piero Sferlazzo表示,Veeco目前针对柔性太阳能电池的大规模生产向客户提供了钼、CIGS及TCO沉积层的集成制造解决方案。新推出的CIGS系统可以满足客户需求,降低太阳能电池每瓦成本。
Sferlazzo表示,Veeco是业界唯一一家将热源(thermal sources)整合到CIGS丝网涂胶系统上的薄膜沉积设备供应商,因此FastFlex能够给客户带来卓越的高吞吐量的沉积方案,助其完成由研发到量产的转变。
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