PECVD

智能化改造上。据介绍，太阳能多晶电池片的生产主要有6道生产工序，即前清洗工序、扩散工序、后清洗工序、PECVD工序、丝网印刷工序及测试分选工序。昨日，在阳光中科生产车间，记者看到一条长约百米的全自动

均匀性薄膜层的PECVD设备，以及一个新型PVD系统，采用反应等离子技术，提供具有更高导电性及更高透明度的高均匀性透明导电氧化物(TCO)层，称将效率提高1%，使得电池转换效率超过23

its MAiA 2.1 platform for inline PERC cell plasma processes, SiNA PECVD cell coating systems
MAiA 2.1平台，用于抗反射和钝化层涂层的SiNA PECVD电池涂层系统以及用于单晶硅片的DW288水冷型金刚石线锯技术。 The company said that the JA Solar

减少光反射率等方法，来提高了光照稳定性及转换效率。 多晶硅薄膜太阳能电池不仅具有晶体硅太阳能电池的高效率及稳定性，而且具有材料用量少，生产成本低的优势。日本 Kaneka公司利用 PECVD 工艺在
、面积约 0.25cm2的微晶硅电池，效率达到 4.6%。国内南开大学通过 VHF-PECVD 技术，研制出沉积速率为1.2nm/s 的电池，效率可达 6.3%。但目前微晶硅薄膜太阳能电池的沉积速率较低

方法，来提高了光照稳定性及转换效率。多晶硅薄膜太阳能电池不仅具有晶体硅太阳能电池的高效率及稳定性，而且具有材料用量少，生产成本低的优势。日本 Kaneka公司利用 PECVD 工艺在玻璃基板上制备了厚
0.25cm2的微晶硅电池，效率达到 4.6%。国内南开大学通过 VHF-PECVD 技术，研制出沉积速率为1.2nm/s 的电池，效率可达 6.3%。但目前微晶硅薄膜太阳能电池的沉积速率较低，因此需要作进一步

薄膜太阳能电池关键高端生产设备（PECVD），自主开发了基于云计算技术、超过1000万点、技术先进的新型轨道交通综合监控云平台。三是积极推进国际产能和装备制造合作。正泰注重发挥品牌、技术、国际化和投融资等优势

已在积极布局开发高效太阳能电池技术。例如，上海理想能源设备公司成功自主研发出高效太阳能异质结（HIT）电池核心生产装备PECVD，已实现HIT电池效率超过22.3%，并即将突破23%。然而，由于新技术投资大

部分企业已在积极布局开发高效太阳能电池技术。例如，上海理想能源设备公司成功自主研发出高效太阳能异质结（HIT）电池核心生产装备PECVD，已实现HIT电池效率超过22.3%，并即将突破23%。然而，由于

，该客户公司此前已购买精曜科技具有世界专利的线性群集式PECVD设备，建成有HJT生产线，电池效率达到业界的领先地位。基于精曜PECVD设备的纳米级高均匀度镀膜特性，目前正朝向量产HJT电池效率23
%的目标迈进。除了扩充量产的PECVD设备，此次交易项目亦包含采用反应式等离子态技术的新式物理镀膜设备，该设备是量产23%高转换效率双面异质结(HJT)太阳电池的关键设备，可提供导电性更佳、光学特性更好

发射结降低表面复合速率，再用PECVD沉积SiNx形成减反膜。正面光刻工艺开槽后用蒸镀方法形成Ti/Pb/Ag金属电极，背面利用激光掺杂技术形成局部背场，如图7所示。其工艺特点是先在背面PECVD法生长
=650.3mV，Jsc=39.6mA/cm2，FF=80.63%），电池结构如图9所示。其在普通化学制绒的N型Si片上，通过硼磷管式共扩散制备正面P型发射结和N型背面，然后通过PECVD技术在前后表面制备钝化