PECVD
Burger将提供其DW288第三系列金刚石线锯以及等离子体增强化学气相沉积（PECVD）MAiA2.1工具，包括MB PERC技术。金刚石线锯和PERC是光伏制造商日益流行的技术升级，光伏国际技术路线
应未来超薄片，能加速研发及改进良率；扩散炉管及PECVD领导设备商TEMPRESS，其针对N型电池高效前沿技术所研发之设备，可进一步提高电池与组件效率和降低成本；Despatch去年新推出的烧结炉抗光衰
最开始的单层膜，已经发展到现在的双层减反射膜和渐进式减反射膜。根据所用镀膜设备的不同，管式PECVD通常采用双层SiNx1/SiNx2减反射膜，板式PECVD则采用渐进式减反射膜。由于SiNx薄膜可调
不同，管式PECVD通常采用双层SiNx1/SiNx2减反射膜，板式PECVD则采用渐进式减反射膜。由于SiNx薄膜可调的折射率范围比较小，相比于单层减反射膜，不管是双层SiNx1/SiNx2减反射膜
技术，进行了系统化、工程化、产业化研究开发。工程中心完成了铸锭炉、高产能多线切割机、全自动高产能扩散炉、全自动高产能四管PECVD设备等的研制；新建多个研究室及产业化基地；承担省部级以上研发项目15项
制备、环保处理、净化工程的建设，到与光伏产业链相关的检测设备、模拟器等，已经具备成套供应能力，部分产品如扩散炉、管式PECVD、单晶炉、多晶铸锭炉、层压机、检测设备已经有不同数量的出口。目前，一条
PECVD、单晶炉、多晶铸锭炉、层压机、检测设备已经有不同数量的出口。目前，一条100MW生产线的工艺设备的投资，仅需要6000万元左右，而在10年前，大约需要1.6亿元~2亿元。在专用材料方面：目前
加工、光伏电池片和组件的生产，以及相应的纯水制备、环保处理、净化工程的建设，到与光伏产业链相关的检测设备、模拟器等，已经具备成套供应能力，部分产品如扩散炉、管式PECVD、单晶炉、多晶铸锭炉、层压机
结构，如图2B。其绒面反射率可达到4%以下。减反射膜利用光的干涉相消原理，减小入射光的反射。从最开始的单层膜，已经发展到现在的双层减反射膜和渐进式减反射膜。根据所用镀膜设备的不同，管式PECVD通常采用
双层SiNx1/SiNx2减反射膜，板式PECVD则采用渐进式减反射膜。由于SiNx薄膜可调的折射率范围比较小，相比于单层减反射膜，不管是双层SiNx1/SiNx2减反射膜，还是渐进式减反射膜，对
。 上述方法实际消耗的硅材料更多，为了节省材料，目前制备多晶硅薄膜电池多采用化学气相沉积法，包括低压化学气相沉积(LPCVD)和等离子增强化学气相沉积(PECVD)工艺。 此外，液相
