PECVD

PECVD、快速烧结炉）和进口设备并存但份额在逐步增大，3种（全自动丝网印刷机、自动分捡机、平板式PECVD）则完全依赖进口。组件生产用的层压机、太阳模拟器等在行业获得广泛应用。2011年初，中电48所

。 专注高效光伏发电技术研发 力促早日实现平价上网 为了进一步提升公司光伏产品的核心竞争力，并助推我国光伏发电产业实现平价上网的最终目标，东方日升始终致力于产品的研发与生产。目前，该公司已开展PECVD

PECVD三层膜效率提升改善、等离子刻蚀选匹配选择性发射极电池技术研究、BOE黑硅电池工艺研究、太阳能湿法黑硅效率提升的研究、背钝化高效太阳能电池效率提升技术的研究、N型硅双面工艺研发以及太阳能电池5主

光伏发电技术研发 力促早日实现平价上网为了进一步提升公司光伏产品的核心竞争力，并助推我国光伏发电产业实现平价上网的最终目标，东方日升始终致力于产品的研发与生产。目前，该公司已开展PECVD三层膜效率提升

HJT的发展性，选择以HJT电池生产所需的PECVD、RPD设备为事业核心，目标抢下全球三分之一的HJT设备市占率。精曜科技董事长吴子倩表示，台湾在半导体的设备、技术、人才等方面的基础甚佳，精曜科技加以
产线是100MW，其中包括PECVD、RPD、印刷机等部分。陈厚模解释，精曜将各个机台组件化，保留客户针对需求采购设备的弹性，也保留精曜提供客制化服务、甚至发展其他相关应用的空间。这样的弹性使精曜号称

铸锭炉和热处理等高温真空炉用热场及其零配件、PECVD用石墨舟及其零配件、EDM用石墨电极、电子半导体用石墨制品以及石墨转子等炭素制品，产品被广泛应用于光伏行业、模具行业、机械行业、电子半导体行业、汽车行业等领域。

Fokko Pentinga先生评论道：该季度，我们在扩大我们提供服务的市场方面取得了巨大进展，成功推出我们的新一代PECVD和ALD系统，其中包括在世界最大的太阳能展会、上海新能源行业协会(SNEC)上
的成功展示。除了我们用于扩散的庞大安装基础，我们安装基础与储备的结合现在还包括2GW的PECVD系统和数百兆瓦的ALD PERC系统。我们对于当前和下一代太阳能电池的设计的技术解决方案令人信服，其中

(全自动丝网印刷机、自动分捡机、平板式PECVD)完全依赖进口外，部分产品如扩散炉、等离子刻蚀机等已开始少量出口。国内企业可提供10种太阳能电池大生产线设备中的8种，其中有6种(扩散炉、等离子刻蚀机、清洗
/制绒机、石英管清洗机、低温烘干炉)已在国内生产线占据主导地位，2种(管式PECVD、快速烧结炉)与进口设备并存但份额逐步扩大。尤其在电池片串焊环节，打开潘多拉魔盒的无锡奥特维也许不会想到，这一设备会在

Series 3金刚石线硅片切割系统，以及其用于钝化发射极背面电池(PERC)产品升级的SiN/AlOx PECVD沉积系统MAiA 2.1。该公司预计，2016年第四季度开始交付及投产设备。