PECVD

, DOI: 10.1002/pip.2881】。通过湿法化学、共扩散、离子注入及退火氧化、激光图形化和PECVD等工艺，在电池前驱体上实现优越光学表面(平均反射率2.5%)和较高impliedVoc

这里我们能够从PECVD和激光工具设备供应商处得到最为有用的讯息。 首先，向PERC的转型过程发展得很快，产能扩张计划和全线集成计划也正以疯狂的速度进行着。在对新工艺流程进行应用时，通常会花费很长
Burger)是PECVD供应领域内的主导企业，通过几年前收购的Roth & Rau公司获得足够的市场份额。尽管Roth & Rau公司的重点是在前表面的SiN沉积工艺上，PERC工艺中的后表面材料沉积则

检测设备、模拟器等，已经具备成套供应能力，部分产品如扩散炉、管式PECVD、单晶炉、多晶铸锭炉、层压机、检测设备等已有不同程度的出口。未来，大尺寸、自动化、高产能等高档设备市场广阔，与大半导体的结合将

太阳能积压订单上升至3580万美元。该公司指出，出货时间和季节性是收入连续下降的原因。PECVD工具和半导体设备的需求量增加被认为是2016年增长的主要原因。Amtech首席执行官Fokko
Pentinga表示：“Amtech旗下两家子公司Tempress和SoLayTec为太阳能制造商生产设备。第一季度很大一部分太阳能订单都是订购新型PECVD和N型扩散产品。我们所有的行业包括太阳能、半导体和

位中国新客户处获得的订单包括其高吞吐量PECVD平台和n型双面太阳能电池交钥匙订单。据公司表示，多数订单预计将在未来六至九个月内完成交付。Amtech公司首席执行官兼总裁Fokko Pentinga

公司表示，该资金数额在数百万瑞士法郎范围内，并将用于进一步验证旗下用于双面沉积工艺的OCTOPUS II / PECVD-PVD集群系统，该系统使用了Mirror Reactor(镜面反应器)，可降低

余项，去年仅高端智能电器研发就获专利300多项。正泰研发的我国首台太阳能电池关键高端生产设备（PECVD）打破了西方长期垄断。过硬的品质给了正泰走出去的底气。正泰曾先后13次参加全球最具影响力的德国

太阳电池经过制绒、扩散及PECVD等工序后开始做丝网印刷，会把细栅线和电极印在上面。花栅是把主电极放到背面，电池表面看不到主电极，可增大受光面积，降低光损耗。通过激光打孔技术，把电极引到电池后面。而后

，2种（管式PECVD、快速烧结炉）和进口设备并存但份额在逐步增大，3种（全自动丝网印刷机、自动分捡机、平板式PECVD）则完全依赖进口。组件生产用的层压机、太阳模拟器等在行业获得广泛应用。2011

PECVD、快速烧结炉)和进口设备并存但份额在逐步增大，3种(全自动丝网印刷机、自动分捡机、平板式PECVD)则完全依赖进口。组件生产用的层压机、太阳模拟器等在行业获得广泛应用。2011年初，中电48所推出