镀膜
某线的划伤比例，收集数据如图8所示。
由数据可得，反射率28%时与反射率26.5%时的划伤比例并无差异，所以为非要因。
2.2.8原因八：PECVD镀膜温度影响电池片耐磨性
针对C车间
氮化硅划伤比例较高，PE镀膜温度整体也较高的特点，对PE不同温度下的划伤现象进行了验证，以C车间某线为例，对比不同镀膜温度的划伤比例，数据如图9所示。
随着镀膜平均温度的变化，划伤比例也有
。为此，电池片生产线都具有检验PECVD工艺后硅片不良品的环节，并制定出相应的检验标准。检验的方法是：镀膜颜色及外观采用人工目测的方式全检;膜厚与折射率采用SWE椭圆偏振测试仪进行抽检，从不同位置等间距
全自动石墨舟上下料机上，并在实际生产使用中得到客户的好评。
1检测系统功能
本系统用于对PECVD镀膜工艺后的硅片进行缺陷自动检测，包括膜厚、折射率、色斑、划痕、脏污残留、破损等不良项目。使用
创纪录达21.5%。2015年3月，MacDermid公司通过激光刻蚀、镀膜、热退火等工艺制作窄铜网导体替代银浆，其中镀层为1m镍层、10～15m铜层和0.2m银层。该工艺可实现30m的栅线宽度和4N
镀膜的最优工艺参数。
等离子体增强化学气相沉积(PECVD)的氮化硅薄膜作为理想的减反射膜,具有很好的表面钝化作用,已被广泛地用于半导体器件。沉积参数的设计和工艺安排都会显著影响氮化硅薄膜产量和质量
特性,为了满足氮化硅薄膜的质量特性要求,有必要对沉积过程的参数进行优化。文献利用光学和化学计量仪器研究了不同沉积条件和退火条件对氮化硅薄膜的影响,得到了最优的沉积氮化硅薄膜的工艺参数;文献对氮化硅镀膜
，量产效率也不断攀升，这足以证明PERC技术拥有强大的生命力和广阔的应用前景。 PERC电池只需在传统电池工艺基础上增加Al2O3/SiNx背镀膜和激光开膜两步工艺，与其它高效电池及技术相比，PERC
了不同厚度的Al2O3薄膜，保护SixNy薄膜的厚度为100nm，折射率为2.1，正面SixNy厚度为80nm，折射率为2.0。当Al2O3镀膜时间为60s时，使用SENTECHSE800型椭偏仪测试
Al2O3厚度为25nm，假定Al2O3薄膜生长速率恒定，通过调整镀膜时间来调整Al2O3薄膜厚度。使用Sinton公司的WCT120型少子寿命测试仪分别测试快速热处理前后的少子寿命，快速热处理温度
精密涂布技术(如磁控喷溅法、双面浸泡法等技术)，在玻璃表面涂布一层含纳米材料的薄膜，这种镀膜玻璃不仅可以显著增加面板玻璃的透光率2%以上，还可以显著减少光线反射，而且还有自洁功能，可以减少雨水、灰尘等
的因素。钝化量产设备分为两派：一派以德国Centrotherm为代表，采用PECVD生长的氧化硅/氮化硅叠层膜作为背面钝化膜，另一派以德国R&R公司为代表生产的氧化铝镀膜设备，并且开发出二合一的氧化铝
叠层膜设备。而对于氧化铝镀膜设备根据其生长原理不同有两种，一种是以原子层沉积技术生长氧化铝膜，另外一种则是以PECVD(等离子体增强化学气相沉积)方式获得氧化铝膜。采用原子层沉积技术生长氧化铝膜量产
近期，科技部高新司在武汉组织召开了十二五国家863计划主题项目光伏光热联合供能(PV/T)关键技术研究与示范项目验收会。该项目由兰州交通大学国家绿色镀膜工程中心有限公司、西安交通
足以证明PERC技术拥有强大的生命力和广阔的应用前景。 PERC电池只需在传统电池工艺基础上增加Al2O3/SiNx背镀膜和激光开膜两步工艺，与其它高效电池及技术相比，PERC电池技术难度较小，设备
