还原炉

每公斤多晶硅70至80千瓦时，还原电耗每公斤40千瓦时，远优于以往的世界先进水平。全球其他工厂老装置的综合电耗都在100至120千瓦时范围内。在生产成本方面，还没有几家企业能把改良西门子法多晶硅
生产成本(含折旧)做到每公斤17美元的水平!同时，一种新型的硅烷流化床技术近年趋于成熟。尽管还达不到期望中的高品质，但未来由GCL完成的单炉千吨级硅烷流化床中试项目，将解决颗粒硅品质提升和连续稳定高效生产的

。 资料显示，京运通是我国真空晶体生长设备研发制造于一体的专业生产厂家。公司主要产品包括软轴单晶炉、多晶硅铸锭炉、区熔炉、多晶硅还原炉等。 京运通6日停牌，停牌前一交易日报收7.22元，上涨

，也停止了。博尔沙科夫认为，该公司的这个多晶硅项目的失败，除了市场原因外，技术也是重要的问题。该公司是世界上首批使用GT的还原炉的公司之一，但这个炉子的技术当时并不成熟，所以，成本屡降不下来。此外，工艺

落后的生产装置。据了解，宜昌南玻专门引进国际先进36对棒还原炉，美国DEI公司最先进的冷氢化工艺和全球最大的冷氢化炉，采用优化的天津大学差压耦合精馏工艺等，对能量进行最大化的综合利用，对四氯化硅、二氯二

，淘汰工艺技术落后的生产装置。据了解，宜昌南玻专门引进国际先进36对棒还原炉，美国DEI公司最先进的冷氢化工艺和全球最大的冷氢化炉，采用优化的天津大学差压耦合精馏工艺等，对能量进行最大化的综合利用，对

青春汗水生产中的多晶硅24对棒多晶硅还原炉装置1月18日，人民大会堂。在2012年度国家科技奖励大会的颁奖台上，由中国恩菲工程技术有限公司（以下简称中国恩菲）及其控股子公司洛阳中硅高科技有限公司（简称
，在2004年成功研制国内首套12对棒还原炉，并于次年10月，迎来我国首条完全依靠自主研发技术，全部采用国产化设备建设的多晶硅生产线的顺利投产；以年产300吨多晶硅项目为开篇之作，在国家部委和地方省市

，容易去除。但铜膏为防止氧化则置于氮气中，难以去除树脂。为去除树脂提高氧浓度的话，铜表面就会氧化。虽然相关工艺细节未公布，但据称开发了在烧结炉中同时实施氧化和还原的工艺。在500℃下烧结1分钟烧结后，铜
)在硅晶圆与铜布线之间形成扩散阻挡层防止铜扩散，(2)改进铜膏的烧结条件防止氧化等措施解决了上述问题。同时实施氧化与还原(1)中的扩散阻挡层由厚度为5～10nm的氧化物构成。不仅可防止铜扩散，而且还具

，难以去除树脂。为去除树脂提高氧浓度的话，铜表面就会氧化。虽然相关工艺细节未公布，但据称开发了在烧结炉中同时实施氧化和还原的工艺。 在500℃下烧结1分钟烧结后，铜布线电阻率变为与Ag布线
扩散阻挡层防止铜扩散，（2）改进铜膏的烧结条件防止氧化等措施解决了上述问题。 同时实施氧化与还原 （1）中的扩散阻挡层由厚度为5～10nm的氧化物构成。不仅可防止铜扩散，而且还具有导电性

西门子法，但生产项目设备、生产工艺是前几年引进的老设备，所采用的主要技术线路是单耗较高的高温热氢化和12对棒还原炉，多晶硅综合成本50美元/公斤左右。 商务部的双反政策虽然使得国内硅料短期升至20

等方面存在很多无法改变的缺陷。在设备选型配置上，受当时制造技术的限制，2006年~2010年大部分小产能多晶硅生产企业采用9对、12对、18对棒还原炉，存在着炉型小、产能低、能耗特别高的问题，根本
无法与现行36对棒还原炉相比，其中电耗上相差50%。生产流程中占据重要环节的氢化转换技术，现行冷氢化技术比原来的热氢化，电耗省30%左右，转化率高8%~10%。所以目前国内小产能多晶硅企业普遍存在着设备