硅片清洗技术

公司核心的半导体集成电路设备工艺技术，产品的技术水平和工艺稳定性方面具有很强的竞争力，并且产品并不局限于单晶炉等长晶设备，而是以扩散炉、PECVD、清洗机等工艺设备为主。其前提是公司掌握了半导体前道工艺

技术水平和工艺稳定性方面具有很强的竞争力，并且产品并不局限于单晶炉等长晶设备，而是以扩散炉、PECVD、清洗机等工艺设备为主。其前提是公司掌握了半导体前道工艺主要设备的制造技术，具备以成膜、清洗、流量

）： A、 光伏生产设备：硅棒硅块硅锭生产设备：全套生产线、铸锭炉、坩埚、生长炉、其他相关设备硅片晶圆生产设备： 全套生产线、切割设备、清洗设备、检测设备、其他相关设备电池生产设备： 全套生产线

，这种晶圆经过某种方式处理，有助于吸收更多的光。在热炉中，硅片接触磷，然后使用尚德开发的特殊技术进行清洗。这些步骤使晶圆可以把光转换成电能。一名工人在分捡太阳能电池，这些电池从一台机器上出来，机器在它们

正常运转，一般不需要动手。整个流水线秩序井然。这套工艺是比较复杂的，先是把切成一小片的硅片用酸液或碱液把表面做腐蚀处理，然后高温通入POCl3（三氯氧磷）、N2（氮气）在规片上形成PN结，然后再在硅片
上刻蚀，刻出可以丝印的小槽，清洗干净后镀膜，最后把电极印刷上去，这样在密闭车间的工序就全部完成。在生产中自动传送、机械手自动拾取、机器刻蚀、清洗是一个自动化、现代化程度很高的车间，这些工序基本是自动化

氧磷）、N2（氮气）在规片上形成PN结，然后再在硅片上刻蚀，刻出可以丝印的小槽，清洗干净后镀膜，最后把电极印刷上去，这样在密闭车间的工序就全部完成。 　　在生产中自动传送、机械手自动拾取、机器刻蚀
，设备体积庞大结构复杂，工人在里面只是在维护机器的正常运转，一般不需要动手。整个流水线秩序井然。 　　这套工艺是比较复杂的，先是把切成一小片的硅片用酸液或碱液把表面做腐蚀处理，然后高温通入POCl3（三氯

新能源装备产业以及能源装备制造的相关支撑技术和装备，加快促进能源装备的绿色低碳发展。我们迫切需要加快能源装备制造的基础装备研发和产业化力度，切实提高产业自主发展能力。目前，我国太阳能光伏电池产量已
居世界首位，但丝网印刷机、高温烧结炉等关键设备仍主要依靠进口，大大增加了我国太阳能光伏电池的投资和生产成本。国产化替代进口光伏行业的大发展引发了市场对晶硅、硅片以及组件生产设备的需求。在此背景下，国内涌现出

的节约源于保定英利一公司技术员田欢的清洗机节水项目。我发现硅片产量的波动对耗水量的影响很小，仔细观察才发现，无论是不是有硅片在洗，清洗机的进水阀门都是常开的，水时常白白流失，所以只用2周时间完成软件

160~180kWh/kg降至130kWh/kg，还原尾气利用率提高至99%，生产成本可由每千克40美元降至22美元。降低硅片厚度。降低硅片厚度是减少硅材料消耗、降低晶硅太阳电池成本的有效技术措施之一

。降低硅片厚度是减少硅材料消耗、降低晶硅太阳电池成本的有效技术措施之一。30多年来，太阳电池硅片厚度从70年的450～500降低到目前的180～200，降低了一半以上，对太阳电池成本降低起到了重要作用