研发费用

制造商。公司以原子层沉积(ALD)技术为核心，专注于先进微米级、纳米级薄膜沉积设备的研发、生产与应用。公司业务涵盖集成电路、光伏、LED、MEMS 等半导体相关领域，以及新能源和柔性电子领域
亿元用于基于原子层沉积技术的光伏及柔性电子设备扩产升级项目、5亿元用于基于原子层沉积技术的半导体配套设备扩产升级项目、1亿元用于集成电路高端装备产业化应用中心项目、1.5亿元用于补充流动资金。最终，微导纳米扣除发行费用后共募资10.2347亿元，相较原计划高出2347万元。

成本）等问题，因此PECVD、PEALD等技术路线有望“后来居上”。 | 聚焦ALD技术自2015年成立以来，微导纳米始终聚焦于原子层沉积（ALD）技术，并先后研发出ALD、PEALD二合一、PECVD等
，具有较高的技术壁垒，可广泛适用于不同场景下的薄膜沉积。公司自主研发的PEALD二合一产品，集成了PEALD和PECVD两种工艺，分别用于制备隧穿层和多晶硅层，能够弥补LPCVD技术存在的不足。 | 业绩

委、市工业和信息化局、市住房和城乡建设局、市水务局、市市场监管局等按职责分工负责）（六）公共机构能效提升工程。加快公共机构既有建筑围护结构、供热、制冷、照明等设施设备节能改造，鼓励采用能源费用托管等
。加大先进节能减排技术研发和推广力度。发挥行业协会、商业团体、公益组织的作用，支持节能减排公益事业。畅通群众参与生态环境监督渠道。开展节能减排自愿承诺，引导市场主体、社会公众自觉履行节能减排责任。（市委

和重点支持领域本措施适用于已登记注册，具备独立法人资格，从事绿色低碳领域研发、生产和服务的企业以及其他事业单位、社会团体、民办非企业等机构。本措施重点支持可再生能源、核能、氢能、安全储能、智慧能源
绿色低碳产业链发展需求开展研发，择优选取若干创新联合体，给予财政资金支持。(三)强化关键核心技术攻关和产业化。持续布局市级科技和产业重大专项，支持针对附件中绿色低碳重点领域开展“卡脖子”核心技术攻关、重大

不超过10年。容量补偿费用按放电量计算，根据实际调用电量，由未提供有偿调峰服务的市场主体分摊，如有容量市场相关政策出台，按新政策执行。〔责任单位：自治区能源局、工业和信息化厅，内蒙古电力(集团)公司
、关键技术攻关、标准编制和成果转化，鼓励开展新型储能技术应用及商业应用示范、首台(套)重大技术装备示范，鼓励企业牵头建立新型研发机构、重点实验室、创新联合体，开展新型储能技术协同攻关，对符合条件的推荐

和重点支持领域本措施适用于已登记注册，具备独立法人资格，从事绿色低碳领域研发、生产和服务的企业以及其他事业单位、社会团体、民办非企业等机构。本措施重点支持可再生能源、核能、氢能、安全储能、智慧能源
绿色低碳产业链发展需求开展研发，择优选取若干创新联合体，给予财政资金支持。（三）强化关键核心技术攻关和产业化。持续布局市级科技和产业重大专项，支持针对附件中绿色低碳重点领域开展“卡脖子”核心技术攻关、重大

面向社会提供物品储存服务并收 取费用的仓库，包括通用仓库以及冷库等专业仓库。 6. 园区基础设施。位于自由贸易试验区、国家级新区、国家 级与省级开发区、战略性新兴产业集群的研发平台、工业厂房、 创业
废弃物综合利用基础设施项目。（五）仓储物流基础设施。应为面向社会提供物品储存服务并收取费用的仓库，包括通用仓库以及冷库等专业仓库。（六）园区基础设施。包括位于自由贸易试验区、国家级新区、国家级与省级

、国网蒙东电力公司〕十、建立市场化补偿机制，纳入自治区示范项目的独立新型储能电站享受容量补偿，补偿上限为0.35元/千瓦时，补偿期不超过10年。容量补偿费用按放电量计算，根据实际调用电量，由未提供有
、首台（套）重大技术装备示范，鼓励企业牵头建立新型研发机构、重点实验室、创新联合体，开展新型储能技术协同攻关，对符合条件的推荐纳入“科技兴蒙”政策支持范围。（责任单位：自治区科技厅、财政厅、工业和

绿色低碳转型，为全国能源结构转型、降碳减排作出贡献。(一)主要目标。“十四五”期间，产业结构和能源结构调整优化取得明显进展，重点行业能源利用效率大幅提升，清洁低碳安全高效的能源体系初步建立，绿色低碳技术研发
物流总费用占地区生产总值比重下降至13%左右。(四)以绿色有机农畜产品输出地建设为支点，实施农业农村减排增汇行动。1.加快农牧业低碳发展。推行绿色有机标准化生产，做大做强有机品牌，打造绿色有机农畜产品

能源结构调整优化取得明显进展，重点行业能源利用效率大幅提升，清洁低碳安全高效的能源体系初步建立，绿色低碳技术研发和推广应用取得新进展，绿色生产生活方式得到普遍推行，有利于绿色低碳循环发展的政策体系进一步完善
%清洁电力使用环境。到2025年，现代物流业与制造业深度融合，流通企业向供应链综合服务转型，全省社会物流总费用占地区生产总值比重下降至13%左右。(四)以绿色有机农畜产品输出地建设为支点，实施农业农村减排增汇