真空泵

多达20%的能耗来自于真空泵和尾气处理系统，Edwards一直都在提高其性能以实现成本的降低。”Edwards亚太区总裁Neil Lavender-Jones说，“Edwards与业界同行的不同之处
在于，我们并非提供整条生产线，而是专注于为制造设备提供配套的干式真空泵、分子泵和尾气处理系统等。”选择最佳成本和能耗的真空泵需要充分了解尾气处理和工艺设备对于真空的要求，以及真空系统的分布状况。太阳能和

硅基薄膜太阳能电池制造商对于其工厂及所使用的系统设备的性能表现有着很高的要求。应用创新干式螺杆技术设计生产的DRYVAC系列真空泵，这一创新性的真空泵产品，将更有效地帮助用户实现太阳能电池板的大规模

干式螺杆技术设计生产的DRYVAC系列真空泵，这一创新性的真空泵产品，将更有效地帮助用户实现太阳能电池板的大规模自动化生产并提高利润率。德国欧瑞康莱宝CEO Andreas Widl认为，只有依靠持续

使用的系统设备的性能表现有着很高的要求。应用创新干式螺杆技术设计生产的DRYVAC系列真空泵，这一创新性的真空泵产品，将更有效地帮助用户实现太阳能电池板的大规模自动化生产并提高利润率。德国欧瑞康莱宝

欧瑞康莱宝（Oerlikon Leybold）真空技术公司在5月5日至7日于上海举行的第四届国际太阳能光伏展览会（SNEC）上展出应用创新干式螺杆技术设计生产的DRYVAC系列真空泵，这一
创新性的真空泵产品，将更有效地帮助用户实现太阳能电池板的大规模自动化生产并提高利润率。 太阳能电池板的制造商尽可能地采用各种方法来有效降低成本。太阳能产品进口关税的改变，迫使制造商在整个生产链

来说，真空泵的性能往往会决定工艺走得能有多远。 “随着芯片制造几十年的发展，它已经由新兴产业慢慢地向成熟产业过渡。目前的很多新兴产业，比如光伏、LCD、OLED等，都或多或少地采用了半导体
制造工艺，如刻蚀、PECVD、LPCVD、PVD、MOCVD以及清洗等。”Edwards中国分公司总经理许坚说。“制造工艺的复杂度不断提升，对包括真空泵在内的设备硬件提出了更苛刻的要求

、薄膜电池激光蚀刻设备、 薄膜电池等离子蚀刻设备、薄膜电池湿蚀刻设备 石墨坩埚、石英坩埚、陶瓷坩埚、锯带、砂浆、黑碳化硅、绿碳化硅、废砂浆、切割液体、锯线、 丝网、溅射靶材、真空泵

提升，可全面满足国内最新工艺的需求。新型ICP刻蚀设备，采用无油真空泵、自动匹配射频电源，工艺时间更短，去边效果更好，维护成本更低，单台产能即可满足30MW生产线的需要。而装片量达196片/管

、环保处理、扩散成本等技术性能方面又有全面提升，可全面满足国内最新工艺的需求。新型ICP刻蚀设备，采用无油真空泵、自动匹配射频电源，工艺时间更短，去边效果更好，维护成本更低，单台产能即可满足30MW生产线

时，先用真空泵将干燥室内的气压抽至100帕以下，在此状态下，蔬菜果品中的水分只要在30摄氏度左右就能沸腾蒸发。随后用热管将太阳能集热板收集到的能量，传递到干燥室，实现低温脱水。这种脱水设备只需要给一台功率在
370W左右的真空泵提供工作能量，其他全部利用太阳能源，能耗极低，特别是低温下脱水，有效地保持了脱水蔬菜中的营养成分。 这一科研成果集太阳能集热、热管换热、真空低温干燥等新技术于一身，为利用太阳能拓开了一条新路。目前，该项技术已申报专利。 (编辑:xiaoyao)