Edwards中国分公司总经理 许坚
你能想象让舒马赫驾驶着QQ依然驰骋在F1赛车场上吗？纵然拥有总冠军的娴熟技能，但是如果没有过硬的硬件支撑，恐怕他也只能望“车”兴叹。对于制造工艺来说，真空泵的性能往往会决定工艺走得能有多远。
“随着芯片制造几十年的发展，它已经由新兴产业慢慢地向成熟产业过渡。目前的很多新兴产业，比如光伏、LCD、OLED等，都或多或少地采用了半导体制造工艺，如刻蚀、PECVD、LPCVD、PVD、MOCVD以及清洗等。”Edwards中国分公司总经理许坚说。“制造工艺的复杂度不断提升，对包括真空泵在内的设备硬件提出了更苛刻的要求。”
太阳能和新半导体制造工艺（如砷化镓化合物半导体）要求真空技术能够处理大流量的氢气，然而氢气的分子量小、粘度低，是一种难以抽取的气体。Edwards针对这一趋势推出了iXH真空泵系统。该系统采用一系列具有高抽气速率的干式泵和增压泵以达到最佳的压缩比，从而实现高效率地抽取氢气。其更长的使用寿命和更低的动力消耗大大减少了运行成本。运行成本的下降是通过能耗下降10％、维修间隔延长以及意外停机时间减少而实现的。
“在太阳能光伏制造中，薄膜太阳能电池的工艺腔远远大于传统的半导体反应腔，腔体的增大意味着对抽真空能力更高的要求。大设备需要大的抽气量并快速达到真空度要求。”许坚坦言：“对于大面积衬底的非晶硅/微晶硅薄膜太阳能电池制造，在硅薄膜的淀积过程中需要高流量的氢气和清洗机台所需的大流量含氟气体，真空系统的模块化就成为了一个很好的解决方案。”
晶体硅太阳能电池对真空泵的要求相比薄膜太阳能电池要低，但除气装置和设备稳定性对两者都很重要。光伏产业本身是绿色能源的代表，制造过程更应注重除气和环保。此外，真空设备需要更高的可靠性以减少生产故障率，昂贵的原材料和较高的工厂资本投入需要通过新技术和新产品的开发来降低运行成本和拥有成本。
半导体的核心技术往往掌握在设备商手中，而设备的核心又主要集中在国外发达国家。光伏行业则不尽相同，中国本土的光伏设备厂商也拥有一定的核心技术，这就为Edwards创造了更好的本土合作机会。“我们与本土设备制造商靠得更紧，因此合作也会更加紧密。很多合作是从设备的设计阶段就展开的。中国光伏市场的兴起为我们创造不少的商机。”许坚表示，“2008年Edwards光伏领域的成长比07年翻了一番，2009年虽然受全球经济衰退的影响，但最近欧洲太阳能市场已经开始有好转的迹象。总体来说，光伏的持续成长是显而易见的。”
对于在中国市场的成功经验，许坚认为首先是Edwards在中国建立了完善的供应和服务系统。中国的半导体和光伏制造业较为分散，产业链的各个环节分布在不同的地域。为应对这种情况，Edwards在国内建立了多个服务点和供应网络，以便及时应对客户需求。维修中心能够提供全面的销售及维修服务，并由一个完善的管理架构作支持。另外，贴近客户也是Edwards的优势之一。半导体设备投资巨大，零部件供应商需要紧随客户需求，提供一整套的服务和驻厂服务支持，从而保证设备运转的稳定性，由此帮助客户控制成本并实现较高的运行效率。
经济和市场的走势总是难以捉摸，没有谁能预知一切。对于设备厂商来说，及时捕捉产业变化必不可少。当半导体行业渐渐归于成熟之时，进军光伏或许是个不错的选择。
索比光伏网 https://news.solarbe.com/200907/01/5067.html
