直拉硅单晶

专项极大规模集成电路制造装备及成套工艺项目的300mm硅单晶直拉生长装备的开发和8英寸区熔硅单晶炉国产设备研制两项课题，已进入产业化阶段。公司成功开发了6-12英寸用系列化半导体单晶硅滚圆机、单晶硅截断机

设备应用工程项目（2009ZX02011 ）中的300mm硅单晶直拉生长设备的开发课题（2009ZX02011-001A）在北京有研新材料股份有限公司，由国家02重大专项实施办公室和总体组组织召开的
28和32热场、满足300mm直拉硅单晶90-65nm特征线宽、高性能要求的新型全自动硅单晶生长炉商业样机。圆满地完成了课题合同书规定的各项技术、经济、知识产权、人才培养以及平台建设等指标，已达到课题

、北京经济技术开发区等相关部门领导也出席了此次技术鉴定会，并听取了京运通公司所作的研制总结报告，考察了生产现场。 区熔硅单晶较一般电子级单晶硅具有更高纯度和更高电阻率，其产品销售价格数倍于直拉单晶。在
生产区熔单晶硅片的关键设备之一，世界上生产和销售区熔炉的厂家只有丹麦的TOPSOE等少数几家公司，目前国内设备保有量仅有十几台，且大直径的区熔硅单晶炉都是进口，价格在2000万元人民币以上。而区熔单晶

。 半导体设备方面，公司曾连续承担两项国家科技重大专项，分别是2009年承担的国家极大规模集成电路工艺及装备研制02专项：极大规模集成电路制造设备及成套工艺的300mm硅单晶直拉生长装备的开发，和2011
完成国家科技重大专项《极大规模集成电路制造设备及成套工艺》之300mm 硅单晶直拉生长装备的开发课题的TDR130A-ZJS 全自动单晶硅生长炉产品的验收，并进入量产阶段。其全自动单晶生长炉可满足在

双面电池片需求增长。稀缺大硅片标的,携手晶盛机电、无锡市政府共同进军大硅片制造。中环股份深耕半导体硅片多年,具备直拉和区熔硅技术,掌握8寸及以下尺寸的硅片生产制造能力,区熔硅市占率全球第三,同时具备功率
器件制造产能,是国家科技重大专项02专项大直径区熔硅单晶及国产设备产业化项目主要承担者,是国内难得的半导体制造企业。随着全球半导体新周期的来临,硅片供需紧张,目前12寸片全球供不应求快速涨价,8寸片

超出客户所能接受的范围。其实直拉单晶工艺是很成熟的，只要我们把好用料质量关，按正规拉棒工艺生产，硅棒的质量是可以得到较好控制的。 B、利用磁控直拉硅单晶工艺（MCZ）改进单晶硅棒产品质量 此工艺

片需求增长。 稀缺大硅片标的,携手晶盛机电、无锡市政府共同进军大硅片制造。中环股份深耕半导体硅片多年,具备直拉和区熔硅技术,掌握8寸及以下尺寸的硅片生产制造能力,区熔硅市占率全球第三,同时具备功率器件制造
产能,是国家科技重大专项02专项大直径区熔硅单晶及国产设备产业化项目主要承担者,是国内难得的半导体制造企业。随着全球半导体新周期的来临,硅片供需紧张,目前12寸片全球供不应求快速涨价,8寸片国产化率

只能进行一次。2、直拉法的优缺点设备和工艺比较简单，容易实现自动控制；生产效率高，易于制备大直径单晶；容易控制单晶中杂质浓度，可以制备低阻单晶。易被坩埚污染，硅单晶纯度降低，拉制的硅单晶电阻率大于50