氮化硅薄膜

韩华新能源（启东）有限公司 8、 少子寿命在单晶硅太阳电池生产中的变化研究------中科院微电子研究所 刘金虎 9、 多晶硅锭坩埚涂层用氧氮化硅粉体的合成-------------南昌大学光伏
学院 尹传强 10、 基于高斯曲面拟合的单晶硅片漩涡缺陷检测方法---上海太阳能工程技术研究中心 11、 利用回收硅锯屑制备坩埚涂层用氮化硅粉-------------南昌大学光伏学院 尹

供货商。铂阳在非晶硅薄膜生产上拥有33项自主注册专利和技术秘密，主要专利技术集中于其沉积设备上。铂阳拥有世界上最大的化学气相沉积装置，单室沉积数量为72片电池，沉积面积达到57平方米/炉，光伏电池的尺寸
装备上伸下延产品，成为了国内最大的太阳能光伏产品、高档磁性材料、新型储能材料、特种传感器、SOI材料及高性能氮化钒添加剂的制造企业和国家科技部、北京市太阳能光伏电池示范生产单位及湖南省太阳能光伏

硅折射率增加到2.3时，表面复合速度降到20cm/s以下。而最佳的体钝化则出现在折射率n位于2.1至2.2之间。为了整合氮化硅薄膜三方面的优势，达到优势最大化的目的，我们提出了一种新方法，即双层氮化
，结果见表1。丝网印刷正背电极以及铝背场，烧结制成成品电池片。表1氮化硅薄膜的结构参数(折射率在633nm处)3结果与讨论图1给出了表1中对应的未印刷电极时氮化硅减反膜在空气中的反射率，可以看出在短波部分

24块非晶硅薄膜太阳能电池，解决其日常用电问题。 玻璃取代硅板 成本相对较低 现在市场上流行的太阳能电池多为多晶硅太阳能电池，这种太阳能电池是由硅板和氮化硅组成。旭双太阳能公司程副总说，普通的多晶硅
两块薄厚不一的玻璃，中间是一层红褐色的薄膜，这就组成了一块非晶硅薄膜太阳能电池，利用可见光完成光电转换。与普通的太阳能电池相比，非晶硅薄膜太阳能电池在降低成本的基础上，又通过工艺和技术将光电转换率

部分ＰＮ结；目前采用ＰＯＣｌ3作为磷源，在卧式炉管中扩散；边缘ＰＮ结刻蚀：去除硅片边缘的ＰＮ结，保证电池正负极间绝缘；ＳｉＮ镀膜：在硅片表面生长一层氮化硅薄膜（ＰＥＣＶＤＳｉＮｘ：Ｈ）；保护层，由于
喷涂及烧结：对检验合格的坩埚，加热后用氮化硅溶液均匀的喷涂在坩埚的内壁，在烧结炉中经过最高1050℃约24小时烧结，冷却后待用；装料及搀杂：按照铸锭工艺要求的目标电阻率掺杂定量的Ｓｉ－Ｂ合金；以求达到

启动，高效N型硅太阳电池关键技术研究项目落户英利国家重点实验室。截至目前，实验室承担的太阳电池软件理论模拟仿真、N型硅片制绒、硼磷扩散工艺、氧化硅膜/氮化硅薄膜钝化等项目研究进展顺利，其中，实验中

产品系列、全黑组件CS5A-M。　　百世德有限公司是全球最大的太阳能薄膜电池产品解决方案提供商，公司计划分阶段达到总产能为1GW的薄膜太阳能电池组件的设计产能。公司应用成熟的微晶硅薄膜技术生产面积
安装一个旁路二极管，可有效防止热斑效应。使用由深蓝色氮化硅层或二氧化钛层作减反射膜的太阳能电池片，确保了组件的良好外观。优质铝合金边框确保组件具有很高的抗风等级，结构合理便于安装。采用密封防水性良好

，光伏电池的厚度也很重要。薄的硅片(wafer)意味着较少的硅材料消耗，从而可降低成本。在查阅了大量国内外相关文献，并结合我国对晶体硅太阳电池技术开发的迫切需要，在制备太阳电池减反射膜(氮化硅薄膜)的工艺中
，对气体流量比、微波功率、沉积压强和温度对减反射膜性质的影响进行了研究，通过大量有效的工作及一系列工艺数据，得出了制作减反射膜，分析了氮化硅薄膜的相对最佳沉积参数和优化工艺。1 减反射膜原理在了解减

，可让镀在电池正面的氮化硅薄膜超薄化。而且，SOLARIS极具灵活性，允许在电池背面镀上各种材料。每个晶圆单独处理和涂喷。SOLARIS系统具备六个镀膜室、一个专用的载流子输送装置和一系列可用的镀膜材料

进行研究。厦门大学的微纳光电子研究室试图用氮化镓（GaN）基材料来提高太阳能电池的转换效率。他们的理论支持是，如果要将地面应用的光伏器件转换效率提高到50％以上，必须使用带隙超过2.4GeV的材料，并把
载流子的迁移路径与寿命；纳米材料对太阳光全光谱的光电转换以及低能红外光子的光电转换等。课题组成员、来自上海交通大学的沈文忠教授希望通过纳米硅结构在高效太阳能电池上的应用将硅薄膜电池的转换效率提升到15