微硅晶薄膜
掺杂方案。业内在探索低成本PN区掺杂工艺，并在以下几个方向有了积极的成果： 简化掺杂非晶硅薄膜的工序 降低关键设备PECVD的设备成本 采用更低成本的非晶硅沉积设备 (2)关键设备：非晶硅薄膜
。 HJT电池微晶工艺 有助提升转换效率 HJT电池是以N型硅片为衬底，在正面依次为透明导电氧化物膜(简称TCO)、N型非晶硅薄膜和本征非晶硅薄膜;在电池背面依次为TCO、P型非晶硅薄膜和本征
清洗、非/微晶硅薄膜沉积、导电膜沉积、丝网印刷等工艺制成，具有转化效率高、低温度系数、无光衰减、双面对称、工艺制程简洁高效等优点，未来可与钙钛矿等叠层进一步提升光电转化效率。在业内已形成共识其将成为继
。华晟新能源本轮融资资金主要用于国内首条2GW微晶异质结电池及组件产业化项目的建设与运营。
产投集团通过联合宣城开盛集团对华晟新能源实施战略投资，深入挖掘并看好项目未来发展，支持优秀的科技团队
理想万里晖VHF PECVD在微晶硅薄膜制备过程中，具有离子损伤低、沉积速率高、晶化率高等优势，应用微晶-HJT技术，可将目前的HJT电池量产效率提升1.5个点以上，HJT电池即将进入25.5
。可通过氢氟酸或氢等离子体对硅片进行预处理，减少硅片表面的重金属杂质，从而提升少子寿命、提高电池片效率，优化界面钝化效果。 HJT电池膜层优化：非晶微晶相结合 提升非晶硅薄膜的晶化
工艺设备。 江苏微导：采用适用于 TOPCon 技术的 ALD 设备，已进入量产阶段 1) 夸父系列原子层沉积镀膜系统(ALD)：采用自主知识产权的反应腔体设计和先进的 薄膜沉积技术,确保为晶硅
); text-indent: 0px;"王文静博士表示，未来异质结太阳能电池进一步提高效率的方向是使用掺杂微晶硅或者掺杂微晶氧（碳）化硅替代目前的掺杂非晶硅，这样可以进一步提高掺杂浓度、增加透光性能，同时
，华晟此次发布的166常规尺寸的冠军电池片，其微晶工艺具备量产性，可以基于现有非晶产线设计基础升级实施，仍然使用PVD量产工艺溅射TCO薄膜，因此具备大规模量产推广的可行性，其难度和含金量不言而喻
，2006年QCELL又大举布局蹄化镉CdTe薄膜和铜铟镓硒(CIGS)等非硅薄膜和硅薄膜电池技术，成立子公司Briliant 234 (后来更名为Sontor ，又更名为Sunfilm)微晶和非晶的体
型硅片(c-Si)及基极，在正面、背面都采用非晶硅薄膜(a-Si)形成异质 结结构，正面使用本征非晶硅薄膜和 P 型非晶薄膜沉积形成 PN 异质结，背面同样使用本 征非晶硅薄膜和 N 型非晶薄膜
