三氯氢

循环的使用可以有效解决四氯化硅以及三氯氢硅的排放问题，并达到回收并重复利用的目的。而国内一些四氯化硅事故中出现的氢氟酸污染事故，可以通过使用碱中和的措施，将氟离子完全沉淀再做处理
，只有20家达到2011年颁布的国家《多晶硅行业准入条件》要求，说明中国的多晶硅企业只有不到三分之一的企业的能耗和环保达标能够满足清洁生产的基本要求。这20家企业规模也参差不齐，有的生产规模达到

用的是甲硅烷SiH4(硅烷)和三氯硅烷SiHCl3(TCS)。在加热到分解温度时，气体经历如下反应：硅烷的分解温度约为420℃。但在此温度下，单个硅原子的动能太低不能形成晶体结构。因而，低温大气压
工作条件。若温度足够高，淀积将是结晶态。而对于较低的温度，结构将与工作条件有关。Herrick和Woodruff研究了SiH4与SiHCl3之间的差异，发现逆反应机理压制硅CVD反应器工作温度下三氯硅烷时

。这套自主研发并拥有自主知识产权的技术系统，通过在液态四氯化硅中加入硅粉和氢气，重新还原为多晶硅的生产原料三氯氢硅。一次转化率高达25－30％，总体转化率达99％。循环经济系统将四氯化硅、氯化氢、氢气等

独立研发的，主要技术填补国内空白。其工艺流程主要通过采用三氯氢硅为原料，在催化剂的条件下岐化为二氯二氢硅并进而岐化成硅烷经过提纯制得高纯电子级硅烷气。高纯硅烷气可用于生产高纯度多晶硅，并大幅降低多晶硅的

通过采用三氯氢硅为原料，在催化剂的条件下岐化为二氯二氢硅并进而岐化成硅烷经过提纯制得高纯电子级硅烷气。高纯硅烷气可用于生产高纯度多晶硅，并大幅降低多晶硅的生产成本，具有广阔的应用前景。目前，该技术已成

工艺流程主要通过采用三氯氢硅为原料，在催化剂的条件下岐化为二氯二氢硅并进而岐化成硅烷经过提纯制得高纯电子级硅烷气。 高纯硅烷气可用于生产高纯度多晶硅，并大幅降低多晶硅的生产成本，具有

研发成功的，主要技术填补国内空白。其工艺流程主要通过采用三氯氢硅为原料，在催化剂的条件下岐化为二氯二氢硅并进而岐化成硅烷经过提纯制得高纯电子级硅烷气。高纯硅烷气可用于生产高纯度多晶硅，并大幅降低多晶硅

，百度上是这样介绍的：公司于2008年7月成立，注册资金2.5亿元，地处嘉兴港区化工（新材料）园区、杭州湾大桥北侧。是一家开发、生产三氯氢硅、多晶硅、单晶硅、硅片及太阳能光伏电池组件的高科技民营企业

2013年4月1日。 GT又在10月份推出新的氢氯化反应解决方案，能够在流化床还原炉(FBR)中生产三氯硅烷(TCS)，使多晶硅每公斤生产成本降至14美元以下。GT表示，新氢氯化反应

有限公司总裁Albrecht Mozer博士谈到：技术改造降低成本是必须的，为了尽可能充分的利用已建工厂的设施设备，不浪费原有的投资，我们开发了将已建工厂传统的三氯氢硅生产多晶硅生产线分步式改造成成本更低