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中来N型单晶双面TOPCon电池技术基于N型硅衬底，前表面采用叠层膜钝化工艺，背表面采用基于超薄氧化硅和掺杂多晶硅的隧穿氧化层钝化接触结构，电池的背表面为H型栅线电极，可双面发电。中来N型单晶
双面TOPCon电池集成了以下核心电池技术 (1)离子注入掺杂多晶硅钝化技术;采用低压化学气相沉积法在基体硅表面依次形成隧穿氧化层和非晶硅层，通过离子注入精确控制掺杂原子的剂量和在多晶硅中的分布

、中东等市场相继启动。中长期来看，2025年新增装机量超400GW。根据我们模型的详细测算，全球主要国家将在2019~2027年实现光伏发电侧平价及替代存量煤电、气电，光伏将迎来一轮新的快速
大幅度上涨。由于电价昂贵等因素，2017澳大利亚光伏新增装机量达到历史新高1.34GW。虽然澳洲政府正在积极采取措施应对天然气短缺，但长期供货协议限制下缺气问题预计将持续存在，叠加大量煤电装机接近退役

终端市场的占有率。(责任单位：省工业和信息化厅、省发展改革委、省能源局)通过补链招商和鼓励现有光伏企业延伸产业链，重点引进单晶硅、硅片、特高效电池及光伏背板膜等项目，改变全省光伏产业哑铃式的发展现状

光伏产业公司纷纷倒闭，例如可以看成是中国晶硅光伏技术来源的澳大利亚，尚德的创始人就是新南威尔士大学毕业，老师是国际太阳能电池权威马丁格林教授。施正荣2000年在中国创立尚德太阳能，一度还成为了中国
首富，可见当年光伏产业带给中国的冲击力。 2010年全球光伏产业红火的时候，中国各个光伏大厂全部供不应求，欧洲客户抢着到中国拿产能，中国的光伏企业销售员们可以说无比的幸福，躺着拿订单。一个本科毕业

(ALD)技术形成的Al2O3层被用于进行背面钝化。沉积形成的Al2O3层还要进行一次后沉积退火，这一步被集成在随后的背面SiNx减反射膜(ARC)沉积工艺上，采用的是管式等离子增强化学气相沉积
收益，实现了累加更优的效果。金刚线+黑硅+PERC将助推高效多晶组件跨越300瓦大关，成为高效多晶产品的主流。背景过去几年，多晶硅已经成为光伏行业的主流技术，占据了大部分的市场份额。然

储氢罐、氢气加注机)生产企业的引进力度，鼓励上海氢枫能源技术有限公司等企业在本市探索加氢站与加油站、充电站合建的技术可行性。三、重点工程加快发展新能源汽车和锂离子电池产业，巩固风电和光伏产业优势
电池研发、东皋膜动力电池隔膜产能扩建等项目建设，结合风力光伏发电、分布式能源微电网等开发和建设，开展综合性储能技术应用示范，通过各种类型储能技术与风电、太阳能等间歇性新能源的系统集成和互补利用，提高

技术，CIGS共蒸发技术，小尺寸组件的转换效率：1cm2电池转换效率达到21.0%，硅基薄膜生产设备以及流程，柔性光伏组件，透明导电氧化玻璃(TCO，掺杂或本证氧化锌膜层)镀膜工艺。PECVD，PVD和低压
化学气相沉积(LPCVD)系统，薄膜发电光伏产品的应用平台，开发和研究薄膜太阳能电池、组件及各种应用形式。爱康科技提出以高效 HJT 异质结电池+高效叠瓦组件为核心的产品技术路线。新一代迭代

进一步优化其生产工艺、提高晶体硅电池片效率、降低生产成本，此前已有诸多研究，20世纪80年代，澳大利亚新南威尔士大学光伏实验室提出了PERC结构太阳电池，打破了当时晶体硅太阳电池转换效率的记录，也是目前
Al2O3厚度对电池特性的影响采用梅耶博格公司的玛雅2.1设备来制备Al2O3/SixNy薄膜与背面保护氮化硅薄膜，高频信号发生器频率为13.56GHz。所用气体为三甲基铝(TMA)、高纯氩气、高纯氨气

，主要是在真空或氢气环境下使 Se 在高温条件下蒸发，产生 Se 蒸汽，使其和预制膜反应。这一方式可避免使用剧毒的 H2Se 气体，因此操作更加安全，设备也相对简单。溅射后硒化方法，已经在大面积
前言近年来，光伏工业呈现加速发展的趋势，发展的特点是：产量增加，转化效率提高，成本降低，应用领域不断扩大。与十年前相比，太阳能电池价格大幅度降低。可以预料，随着技术的进步和市场的拓展

等离子体增强化学气相沉积法、氢化非晶硅、热氧化法、原子层沉积法以及叠层钝化，并分别介绍了它们在应用上的优缺点。分析了制备钝化膜过程中存在的问题，并提出了相应措施及发展趋势。表面钝化技术是提高晶体硅电池
如果将氮化硅作为前表面钝化膜，并将其折射率控制在2.0左右，既能起到很好的钝化作用又能起到较好的减反射效果。 3 表面钝化膜制备方法及动态 3.1等离子体增强化学气相沉积法等离子体增强

2017年，我国光伏产业实现了硅料、硅片、电池片、组件等全产业链的产能领先，每一个制造环节都占到了全球市占率的50%以上，部分环节占到了70%甚至是80%以上。可以说，在制造环节，我国光伏
产业已经掌握了绝对的话语权。然而需要看到的是，虽然我国光伏产业已经成为少有的在国际上有绝对优势的产业之一，但是在新型电池的研发及创新方面仍有所欠缺。此外，在各项光伏生产设备以及辅材等方面，我国企业也仍需努力

生产成本，此前已有诸多研究，20世纪80年代，澳大利亚新南威尔士大学光伏实验室提出了PERC结构太阳电池，打破了当时晶体硅太阳电池转换效率的记录，也是目前唯一产业化的高效太阳电池技术。PERC电池在常规电池
玛雅设备来制备Al2O3/SixNy薄膜与背面保护氮化硅薄膜，高频信号发生器频率为13.56GHz。所用气体为三甲基铝(TMA)、高纯氩气、高纯氨气和高纯硅烷，实验时反应气体直接通入反应腔体内，反应

抛光。钝化膜硅片内部和硅片表面的杂质及缺陷会对光伏电池的性能造成负面影响，钝化工序就是通过降低表面载流子的复合来减小缺陷带来的影响，从而保证电池的效率。晶硅太阳能电池的表面钝化一直是设计和
优化的重中之重。从早期的仅有背电场钝化，到正面氮化硅钝化，再到背面引入诸如氧化硅、氧化铝、氮化硅等介质层的钝化局部开孔接触的PERC设计。PERC概念的核心就在于为常规光伏电池增加全覆盖的背面钝化膜

膜产生的效果。气相干洗极大缩减了HF的用量而且加快了清洗的效率。 2.2湿法清洗 2.2.1RCA清洗 Kern等人于1965年提出了RCA清洗法，清洗流程分为两步：SC-1、SC-2。后由
硅片清洗作为制作光伏电池和集成电路的基础，非常重要，清洗的效果直接影响到光伏电池和集成电路最终的性能、效率和稳定性。硅片是从硅棒上切割下来的，硅片表面的多层晶格处于被破坏的状态，布满了不饱和的悬挂键

了杂质引入的原因以及解决途径，从而显著减小了黑斑片产生的几率。 0 引言晶硅电池组件广泛应用于光伏发电行业并形成相当大的产业规模，提高电池转换效率、减少电池的不合格率、优化生产工艺技术是降低
实验采用NaOH溶液对p型(111)单晶硅片进行去除损伤层和制绒处理，硅片的厚度为19010m，电阻率为20.5cm。分别对硅片进行单面POCl3磷扩散，等离子增强化学气相沉积(PECVD)法

人类社会的不断进步，由工业生产所导致的能源和环境问题日益凸显，化石燃料(石油、煤炭、天然气等)的有限储量及其燃烧带来的全球变暖等问题促使人们不断地寻找和开发绿色可再生的新型能源。太阳能具有清洁、无污染
太阳能电池以其制备简单、成本低和效率高的优势迅速崛起成为新型光伏技术领域的新宠，其光电转换效率在短短八年内实现了跳跃式增长，目前报道的最高效率已达到商业化单晶硅太阳能电池的效率水平，表现出极大的优势和