激光诱导烧结助力电镀Ni/Cu TOPCon电池效率提升0.45%

来源:晶硅太阳能电池技术发布时间:2026-02-09 09:34:08

研究背景

无银化的挑战与机遇 在“双碳”目标下,光伏产业正加速向高效低碳转型。目前主流的TOPCon电池仍依赖丝网印刷银浆,不仅成本高昂,且银的开采与提纯碳足迹较高。电镀Ni/Cu技术因其无银、低成本、栅线更细(约10.0 μm)等优势,成为极具潜力的替代方案。

然而,电镀工艺在实际应用中面临挑战: 开路电压损失:电镀前的激光开槽工艺会造成硅晶格损伤,导致Voc下降。 接触电阻:如何获得高质量的金属/硅接触是提升填充因子(FF)的关键。

激光诱导烧结(LIF)技术此前在PERC电池中已有成熟应用,它通过局部高强度激光脉冲配合反向电压,产生焦耳热来优化接触。本研究旨在探索LIF是否能解决电镀TOPCon电池的痛点,并寻找其在工艺流程中的最佳切入点。

实验方法与工艺流程

研究团队采用182.2mm × 186.75mm的n型TOPCon电池片作为基底。实验核心在于将LIF技术集成到电镀Ni/Cu电极的制备流程中。

主要工艺步骤如下: 前道工序:制绒、硼扩散(发射极)、隧穿氧化层与多晶硅沉积、背/正膜层沉积。 电极制备: 使用355nm皮秒激光进行开槽。 电镀镍(Ni)。 变量环节:引入LIF处理(不同电压、不同工序位置)或传统低温烧结。 电镀铜(Cu)。

LIF处理参数:使用1064nm红外激光,功率45W,扫描速度20m/s,同时施加2V至18V的直流反向电压。

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[图1:Ni/Cu电镀电极的TOPCon太阳能电池结构示意图]

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[图2:Ni/Cu电镀电极TOPCon电池的制备工艺流程图]

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[图3:LIF工艺原理示意图(显示激光照射与反向电压下的电子/空穴移动)]

结果与讨论

3.1 LIF对电镀TOPCon电池性能的显著提升

研究首先在完整的“Ni电镀 -> 低温烧结 -> Cu电镀”工艺后引入LIF处理。结果显示,施加反向电压后,电池性能呈现先升后降的趋势。

最佳参数:在14V反向电压下,电池性能达到最优。与未经过LIF处理的样品相比,效率(PCE)提升了0.401%(绝对值),FF提升了1.22%,Voc提升了0.32 mV。 机制分析: 接触电阻降低:LIF产生的局部焦耳热促进了Ni与Si的接触,串联电阻(Rs)从1.51 mΩ降至1.16 mΩ。 损伤修复:Suns-Voc测试表明,复合电流密度J02在8-14V范围内显著下降,说明LIF有效改善了金属/硅界面的复合问题。 结晶度提升:拉曼光谱分析显示,LIF处理后电极下方的硅结晶度提高了0.76%~1.84%,证明LIF起到了类似于“退火”的作用,修复了电镀前的激光损伤。

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[图4:不同LIF电压下电池的电性能参数变化趋势图(Voc, Jsc, FF, PCE等)]

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[图5:不同LIF电压下的暗饱和电流密度J01和J02分析图]

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[图7:不同LIF电压处理后的电极下方硅结晶度变化图]

3.2 LIF引入的最佳时机:

铜电镀之后 由于电镀工艺包含多步,LIF应在何时引入?研究对比了三种方案: A组:Ni电镀 -> LIF -> 烧结 -> Cu电镀 B组:Ni电镀 -> 烧结 -> LIF -> Cu电镀 C组:Ni电镀 -> 烧结 -> Cu电镀 -> LIF

研究发现: C组(最后一步做LIF)性能最好。这是因为Cu层的存在大幅降低了电阻,使得LIF过程中的焦耳热分布更均匀,避免了局部过热损伤。 A组性能最差。先做LIF虽然形成了欧姆接触,但随后的低温烧结过程破坏了这一接触,引入了新的缺陷。 B组次之。虽然优于A组,但由于缺乏Cu层导热,容易产生过量热损伤。

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[图8:LIF在电镀工艺中不同插入位置的示意图(A/B/C方案)]

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[图9:三种不同LIF插入位置下的电池电性能对比图]

3.3 革命性突破:用LIF完全替代传统烧结

既然LIF能产生焦耳热促进合金化,是否可以省去传统的低温烧结炉环节?

研究团队设计了D组实验:Ni电镀 -> LIF -> Cu电镀(无炉退火)。 电压调整:由于此时只有Ni层,电阻较大,需要降低LIF反向电压以防止过热。实验发现6V是D组的最佳电压。 性能飞跃:在6V优化参数下,D组电池效率达到24.74%。与传统的“Ni电镀+烧结+Cu电镀”(无LIF)相比,效率提升了0.45%,Voc提升了0.86 mV。 结晶度证据:拉曼光谱显示,仅经过LIF处理的样品(D组),其界面形成了更稳定的NiSi相,结晶度甚至高于经过传统烧结的样品。

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[图13:无烧结工艺(D组)与A、B组的电性能对比图]

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[图14:不同工艺制备的TOPCon电池结晶度对比图]

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[图16:无烧结工艺下,不同LIF电压对电池性能的影响图]

3.4 接触电阻均匀性的终极对决

研究进一步利用TLM方法扫描了电池片从边缘到中心的接触电阻分布。 传统烧结(O组):电阻分布极不均匀,边缘高、中心低,差异高达3.53 Ω。这是由于烧结炉内温度场分布不均(边缘散热快)导致的。 全激光工艺(D组):展现了极佳的均匀性,电阻波动仅为0.45 Ω。LIF技术通过激光逐点扫描,确保了每个接触点接收到的能量完全一致,从根本上解决了宏观热处理的不均匀性问题。

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[图15:不同工艺下电池接触电阻的水平分布均匀性热力图(重点展示Group D的均匀性)]

研究结论

这项研究系统地证明了激光诱导烧结(LIF)技术在电镀Ni/Cu TOPCon电池金属化中的巨大潜力: 性能显著增强:在传统工艺基础上叠加LIF(14V),可修补界面损伤,效率提升0.401%。 工艺简化与替代:LIF完全可以替代传统的低温镍烧结步骤。采用“Ni电镀 -> 6V LIF -> Cu电镀”的简化工艺,不仅省去了烧结炉设备,还实现了24.74%的高效率,较传统工艺提升0.45%。 均匀性优势:LIF技术通过微观局部的精准加热,解决了传统热处理中接触电阻分布不均的难题,为制造高性能、高一致性的TOPCon电池提供了全新的技术路线。

这一发现为无银电镀金属化技术的产业化应用扫清了关键障碍,是光伏降本增效路径上的重要里程碑。

参考文献: Zhang, J., Xi, X., Shao, J., Li, Y., Liu, Z., Huang, M., ... & Ji, J. (2026). Integration of laser-induced firing with Ni/Cu plating for TOPCon solar cell metallization. Solar Energy Materials and Solar Cells, 299, 114198.


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