据国家知识产权局公开信息,近日,隆基绿能科技股份有限公司申请了一项名为一种电镀装置、电镀系统及电镀方法的发明专利。专利申请号为CN202410430799.1,公开号为CN118516724A,公开日为2024.08.20。
专利摘要:
本申请公开了一种电镀装置、电镀系统及电镀方法,电镀装置包括:基座、载板、电极板和光源,基座中设有电镀槽,电镀槽用于容纳电镀液;载板活动连接于基座,载板朝向电镀槽的一侧设有承载面,承载面用于承载工件接触电镀液;载板中设有隔离结构,隔离结构环绕设于承载面的四周,用于隔离工件的四周侧壁与电镀液;电极板设于电镀槽内,并适于与工件电性连接。
通过在载板中设置隔离结构,使隔离结构环绕承载面,以便在电镀过程中,可以利用隔离结构对工件的四周侧壁与电镀液进行隔离,从而避免工件出现绕镀的问题,提升电镀质量。
责任编辑:周末