近日，微导纳米交付的全球首条AEP®原子层沉积技术 GW级TOPCon整线项目取得量产效率平均25%的突破性进展，为N型TOPCon电池产业化的进一步提速再添新动能，这也标志着光伏产业迎来了技术升级的关键时期。
对光伏创新技术的追求与坚持，让微导纳米始终身处行业新技术产业化应用的领先位置。早在2019年，微导纳米创新研制出祝融系列管式PEALD系统，前瞻性地以AEP®(ALD Enabled Photovoltaics)技术为核心，提出了TOPCon电池的全新工艺路线。2021年4月，微导纳米与尚德电力就2GW TOPCon整线项目签订合作协议，携手打造全球首条GW级以原子层沉积技术为核心的TOPCon整线，可兼容182 mm及210 mm 硅片电池。
微导纳米九大步骤、四大类设备，助力提供高效电池TOPCon技术量产的完美解决方案。针对TOPCon电池正面钝化层、背面隧穿层和原位掺杂多晶硅层等关键薄膜工艺技术，微导纳米采用市场占有率领先的高产能批量型热ALD设备，搭载行业创新的PEALD二合一技术(能够在同一台设备中完成两种薄膜的制备)，除了能提高薄膜质量以提供更好的钝化效果之外，还有效降低了设备投资与生产成本。
目前，TOPCon已成为量产电池工艺中转换效率最高、成本最经济的高效光伏电池工艺之一，各大光伏头部企业争相布局，而ALD技术正是实现高效电池TOPCon转换效率突破的核心技术。“时间证明选择”，从首台设备入厂到近日突破25%的平均量产效率，并达到日产能30万片以上，彰显了微导的创新实力。能交出这样一份亮眼的产线验证“成绩单” ，被行业与市场所关注，背后是微导团队与客户精诚合作、迎难而上，经历了无数个技术攻关的昼夜，更是前期对TOPCon技术研发及生产工艺的丰富积累，为此次实现先进电池技术的提升与超越奠定了坚实的基础。
责任编辑：周末
