上海理想万里晖薄膜张津岩：打破垄断，实现PECVD中国造

9月6日，由中国光伏行业协会主办，Solarbe索比光伏网、智新研究院承办的2019中国国际光伏技术论坛(CITPV)分论坛——电池技术论坛异质结专场在杭州举行。上海理想万里晖薄膜设备有限公司工艺执行总监张津岩介绍道，理想万里晖研制的PECVD设备打破了该领域设备一直被国外厂商垄断的局面，实现高端装备中国造。

2017年10月理想万里晖顺利完成首台SHJ用量产型PECVD产品发货，打破了国外供应商的垄断，成为国内新建SHJ产线的首选PECVD供应商。张津岩指出，高端PECVD装备的核心优势一是在于抽屉式反应腔，可放入不同型号的设备工艺共享，研发工艺可直接导入量产设备大规模生产。不同的产业化设备，可以使用同样的反应腔。从研发中试线的研发开始到产业化的过程，均可以用同样的设备，工艺条件和工艺程序可以共享，抽屉式的设备可以用不同的型号设备和工艺直接导入大规模生产当中去。另一个优势是双真空反应腔，反应腔体变小，上下极板同时加热，不易产生热漂移，不易产生颗粒物或者灰尘，清理彻底，无需开腔维护气体消耗小。

2018年，理想万里晖的PECVD中标100MW异质结项目，战胜了许多欧美日的一流半导体设备大公司。其竞争对手包括美国应材、欧洲梅耶博格、日本真空。2019年1月中标某公司100MW异质结项目，2019年4月29日理想万里晖首台SHJ叠层PECVD设备正式启运，6月20日第一片电池出片，效率达23%。

2019年5月，上海理想万里晖薄膜设备有限公司获得A轮投资。2019年6月20日，首台双层HJT量产型PECVD设备生产的SHJ电池下线成功，转换效率达到23%。PECVD团队累计承担国家科技部863、上海市战略新兴重大产业等6项科研项目，申请超过50项国内外专利，填补多项国内空白，奠定国内高端PECVD设备第一的地位。