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金刚线切割硅片制程不良片制绒返工工艺优化

来源:摩尔光伏发布时间:2018-06-05 11:16:40

文章使用制绒混合溶液对金刚线多晶硅片制程不良片进行制绒返工。方案通过调整制绒溶液浓度来控制刻蚀深度,通过补加制绒添加剂控制硅片表面反射率。实验分析了三种制绒返工方案所制电池片的外观形貌和电学参数,对比不同返工方案所做电池片的不良率。

结果显示: 通过稀释制绒溶液并且补加添加剂将制绒刻蚀深度控制在0. 35 μm 左右,并且控制硅片表面反射率在25%以下,有利于改善返工电池片的转换效率和电池片良率。







 

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