名称： 晶体硅太阳能电池用减反射膜成膜等离子CVD装置“MCXS”
晶体硅太阳能电池用复合检查装置“SCI-8SM”
晶体硅太阳能电池用外观检查装置“SCI-8S”
系统价格： MCXS 1亿7千万日元（包含自动传送机，不含税）
SCI-8SM 1千万日元（包含照明电源，不含税）
SCI-8S 5百万日元（包含照明电源，不含税）
尺寸： MCXS 4000 （W） × 7500 （D） × 2500 （H） mm（装置主体、包含自动传送机）
SCI-8SM 306 （W） × 310 （D） × 951 （H） mm（装置主体、包含照明电源）
SCI-8S 193 （W） × 193 （D） × 315 （H） mm（装置主体、不含照明电源）
照片：防反射膜成膜用等离子CVD装置“MCXS”
照片：复合检查装置“SCI-8SM”（左）、外观检查装置“SCI-8S”（右）
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