《MCXS的特长》
1. 高PID耐性获得实证
这次在AIST进行的试验，在摄氏25℃、组件表面玻璃处于浸水状态、施加电压1000 V的条件下，持续实施168小时。其结果，使用我公司成膜装置制作而成的太阳能电池组件，未发生输出降低现象。
本产品，显然对提供高可靠性太阳能电池有所帮助。
2. 为提高太阳能电池生产能力做出贡献
新开发了可以生成高密度等离子的中空阴极等离子源，通过提高原料特气的分解效率，实现了采用直接等离子方式的业内最高成膜速度（100 nm/min以上）。此外，通过在线式高速搬运机构，与同级别原有产品相比，最高水准可实现每小时1，700枚的高产能，为提高整个生产线的生产能力做出贡献。
3. 实现低成本
除采用高速成膜、立式基板配置实现了装置小型化外，还通过延长维护周期，将消耗电量减至我公司原有机种1/3，运行成本减至1/2，降低了维持费和维护费。换而言之，本产品在太阳能电池制造过程中，降低了能源成本，提高了原料气体的使用效率，是采用了节能设计的制造装置。
《SCI-8SM的特长》
1. 同时对微裂隐裂和晶圆外观进行高速检查
对转换效率以及对生产过程中的破损率会造成不良影响的微隐裂（晶圆内部的细微裂纹）检查，对硅片外形的裂纹或凹凸、减反射膜上的颗粒、膜厚及分布测定等晶圆外观检查，过去需使用不同检查装置进行检查，而现在通过一台设备即可全部实现高速检测，计测时间为1秒/枚以下。
2. 缩短膜厚测定时间
传统装置需要使用多个标准样品进行膜厚测定，为制作标准曲线等，在检查前需要5个小时以上的准备时间。本装置通过可见光的反射强度，基于光学理论、独家开发的测定原理对膜厚进行高速计算，无需准备时间，可即刻开始进行测定。
《SCI-8S的特长》
业内最小尺寸
通过使用独家开发、可将偏差减至最小的光学系统，在保持SCI-8SM同等高功能的同时，与同级别原有产品相比体积缩小15%，成为业内最小尺寸的外观检查装置。
本产品不仅可用于新设生产线，也可在现有生产线的有限空间进行追加改造，为提高电池片质量做出贡献。
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